中古 KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM #182677 を販売中

KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM
ID: 182677
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Atomic Layer Deposition system, 12" ALD: SiN 2008 vintage.
KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DMは、信頼性の高い高性能な蒸着および蒸発プロセスを実現するために設計された、最先端の拡散炉およびアクセサリーキットです。それは正確な温度調整、気流および真空制御を保障するデジタルコントローラーが付いている4地帯装置を特色にします。内蔵の12 インチRFジェネレータは、半導体デバイス材料を含む多くの材料の堆積を可能にします。拡散プロセスの高温相は、二クロリフレクターを内蔵した多方向の赤外線加熱によって達成され、高度なパイロメータはチャンバー内の均一な温度を確保します。この炉には安全扉と二重構造の真空チャンバー壁があり、熱損失を低減しています。このキットには、導電性材料と絶縁性材料の両方の堆積を高めるための水コンデンサーと昇華剤が含まれています。コンデンサーと昇華器の両方には、内蔵のトライレベル冷却システムと温度制御ファンが付属しています。このユニットはまた、一度に複数の層を堆積するのに役立つデュアル成長メカニズムを備えています。また、使用されるガス混合物およびチャンバー内の圧力に対する高度な制御を提供します。デジタルコントローラを使用すると、データロギングとコンピューター制御、およびトラブルシューティングのためのインシデントレポートを使用して、ユーザー定義のプロセスを実行できます。タッチスクリーンインターフェイスは使いやすく、機械は他の単位に貯え、移すことができる10までの調理法をプログラムすることを可能にします。Aldinna DJ-1206VN-DMには、ツールを制御し、データを収集し、プロセスを監視するための完全なソフトウェアパッケージとライブラリも付属しています。KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DMは、一貫した結果と優れた性能を提供するように設計された高度な拡散炉とアクセサリーキットです。その4ゾーンの資産と機能の範囲は、ユーザーが効率的かつ正確な方法で材料のすべてのタイプを堆積し、蒸発する機能を提供します。完全なソフトウェアパッケージ、二重成長メカニズム、および信頼できる温度制御によって、このモデルは蒸着および拡散のための理想的な選択です。
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