中古 KE DD-823V #9364541 を販売中
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KE DD-823V拡散炉は、大量かつ選択的な領域の半導体ウェーハ処理用に設計された強力で信頼性が高く、堅牢な蒸着装置です。独自のパルスダイナミック拡散加熱装置を使用して、PECVD、 CVD、急速熱アニーリング、誘電成膜などの幅広いプロセスに均一な高温加熱を提供します。DD-823Vはまた、最大8つの水平に取り付けられたカセットローディングゲートの精密なゾーン制御を可能にする改良された垂直駆動モーターを装備しています。この機能により、異なるプロセス間の迅速な移行を可能にします。また、カセット、チャンバー、蓋の温度を監視し、安全性と信頼性を確保するための3方向安全スイッチシステムも備えています。さらに、最大チャンバー温度はプロセス要件を満たすようにプログラムされています。KE DD-823Vの統合制御ユニットは、正確なプロセス温度制御とユーザーフレンドリーな操作を提供します。また、プロセスコントローラと安全モニターが付属しています、組み込みセンサーとの両方、だけでなく、プログラム可能なアラームとステータス機能。交換可能なガスパネルは、より良いチャンバーの均一性のために加熱ゾーンを制御します。DD-823Vにはタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスもあり、処理パラメータに素早く簡単にアクセスできます。KE DD-823Vは、革新的でユーザーフレンドリーなメンテナンス機能も備えています。独自のセルフモニタリング機能により、異常状態への迅速な対応が可能になり、無停止でのメンテナンスとチャンバー状態の継続的なモニタリングが可能になります。この装置には、定期的な洗浄と検査のための取り外し可能なガスパネルも装備されています。この炉には短いサイクルドアが付属しているため、部品を迅速かつ干渉することなく交換することができます。さらに、炉は手動か自動モードで作動させることができます従ってプロセス条件を満たすために容易に調節することができます。要約すると、DD-823V拡散炉は、プロセス間の迅速な移行と正確なゾーン制御を提供する強力で信頼性の高い機械です。汎用性の高い制御機、モジュラーガスパネル、使いやすいメンテナンス機能を備えています。このモデルは、大量および選択領域の半導体ウェーハ処理に最適なソリューションです。
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