中古 KE DD-1223V #9381846 を販売中
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ID: 9381846
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1 Boat
(25) Carrier slots
Heater type: D4EX16975-1
Gases: N2, O2, H2, HCl
Hard Disk Drive (HDD)
System control:
CX3002C Main controller
Operation screen: Touch screen
Gas flow chart (Front, rear)
CQ1600 Temperature controller
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Gas name / Type
Gas 1 / N2 FC-D986Y-BF 30SLM
Gas 2 / N2 FC-D986Y-BF 50SLM
Gas 3 / O2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 4 / O2 FC-D985Y-BF 5SLM
Gas 5 / H2 FC-D986Y-BF 20SLM
Gas 6 / Hcl FC-D985Y-BF 0.5SLM
Gas 7 / N2 FM-D866Y-BF 10SLM
Gas 8 / N2 FM-D866Y-BF 5SLM
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air operated valve
AP TECH Regulator
MFC (Maker, model): AERA
Exhaust distribution system:
APC EPV-100
Wafer / Cassette handling:
(16) Cassette storages
Cassette in / Out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust system:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Manifold assembly
Cap base assembly
Tube setting part assembly
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
2001 vintage.
KEのDD-1223V拡散炉および付属品は科学および産業研究開発の使用のために設計されている多目的な、温度制御された電気ベーキング炉装置です。200°Cから1000°Cまでの微細な増分制御と24 ワット/cm2までの連続出力を備えた高温機能、広い温度範囲で、多くの産業暖房プロセスに信頼性の高い性能、効率、安全性を提供します。このユニットは、コンパクトなハウジングと安全で絶縁された設計を備えているため、設置とメンテナンスが簡単です。PID制御を備えた精密なデジタル温度コントローラにより、一貫した反復可能な加熱操作が保証されます。オーブンは二重壁に囲まれた鉱物絶縁材、提供の優秀な温度の均等性および優秀なエネルギー効率と組み立てられます。このユニットは、独自の「オープンドア」タイプの設計を採用しており、加熱された部品の積み降ろし、システムの保守および保守に容易にアクセスできます。チャンバーは、ろう付けおよびはんだ付けを含む拡散プロセス用に設計されています。ドアはユニークな「スイベルスタイル」で設計されており、アクセスが簡単で柔軟性が高まります。単位全体は高級な材料となされます。精密な水晶テストを可能にする水晶管のホールダーおよび水晶管を含むいろいろな炉の付属品はDD-1223Vのために利用できます。また、1000°Cまでの温度で多種多様なるつぼや皿を使用することができ、様々な試料の調製や分析プロセスを行うことができます。追加の機能には、ダブルウィンドウタイプのドア開口機、簡単にアクセスしてメンテナンスするための手動トルクノブ、および調節可能なPID制御温度設定ツールが含まれます。KEのDD-1223V拡散炉および付属品は多くの産業および科学的な暖房プロセスのための理想的な解決で、比類のない性能、堅牢な構造および信頼できる温度調整を提供します。これは、さまざまな金属や合金、石英、磁器、セラミックを含む試験、準備処理、分析プロセスに最適です。設計、有効な絶縁材、精密なデジタル温度調節器およびいろいろな付属品を取付けること容易によって、DD-1223Vはあらゆる拡散プロセスのための強力な解決です。
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