中古品 IST (拡散炉＆付属品) を販売中

この拡散炉は、半導体の製造において重要な部品であり、ドーパント材料をウェーハに拡散させることができます。ISTは拡散炉および関連の付属品の顕著な製造業者です。ISTは、さまざまなプロセス要件に対応する広範囲の拡散炉を提供しています。それらの炉は精密で一貫した拡散プロセスを提供するように設計されており、高品質の結果を保証します。これらの炉は、マルチゾーン温度制御、高純度ガス供給システム、および制御された大気環境などの高度な機能を備えています。ISTはまた、拡散炉を補完するアクセサリーの範囲を提供します。水晶チューブ、ウェーハボート、ガスシステム、プロセス制御などがあります。クォーツチューブは、拡散プロセス中にウェーハを保持および輸送するために使用され、ウェーハ全体に均一な拡散が保証されます。ウェーハボートは、効率的に石英管にウェーハをロードしてアンロードするのに役立ちます。ガスシステムは、拡散プロセスに必要なドーパントガスを炉に供給し、プロセス制御は拡散プロセスパラメータの監視と制御を支援します。IST拡散炉とアクセサリーにはいくつかの利点があります。高いプロセス再現性、プロセスの均一性、優れたドーパント濃度制御を提供します。さらに、高度な機能と正確な制御により、サイクルタイムの短縮と歩留まりの向上に貢献します。ISTのVFNC 3030は、拡散炉シリーズの例です。バッチおよびシングルウェーハ拡散プロセスに適した高効率で汎用性の高い炉です。VFNC 3030は、優れた温度制御、高速ランピングレート、優れたドーパントガス管理を提供し、幅広い半導体製造アプリケーションに最適です。