中古 IPS 300 CA #293614963 を販売中

IPS 300 CAは、Nederman社の拡散炉およびアクセサリ機器です。半導体デバイスの製造に使用されるアニーリングおよび拡散プロセスに関連するさまざまな機能を実行します。300のCAシステムはアニーリングおよび拡散プロセスを実行するために使用される減らされた燃焼室が付いている温度制御された横の炉です。このユニットは、ウェーハサイズとレシピ生成の面で幅広い柔軟性を提供するダブルベルトタイプです。速度、効率、再現性を最適化するように設計されています。IPS 300 CAマシンには、プロセス全体で最適な条件を確保するために、予熱ゾーンと拡散ゾーンという2つの異なる加熱ゾーンがあります。予熱ゾーンは、すべてのプロセスガスが拡散ゾーンに到達する前に所望のセットポイントにあることを保証します。これは、基板原子の拡散を成功させるだけでなく、一貫した熱伝導性を維持するのにも役立ちます。予熱ゾーンはまた、ガスが排出を削減し、室内凝縮の可能性を低減するのに十分な時間を提供します。300 CAはまた、自動プロセス制御システムを含む優れた温度および圧力検出機能を備えており、拡散プロセス全体で最適なプロセス条件を維持するのに役立ちます。また、垂直に取り付けられた水晶管の水晶管のソースは、発熱体とセラミックシールドを備えており、ウェーハ基板上の均一な堆積を確保するのに役立ちます。水晶チューブのソースはまた、プロセスの急速な温度上昇とクールダウンを可能にします。IPS 300 CAツールは、安全性を向上させ、あらゆる種類のオペレータのエラーや事故を防ぐために、さまざまな安全機能を備えています。そのデュアルロック保護は、炉が圧力下にあるときに気体拡散プロセス中に最大限の安全性を保証します。さらに、この資産には自動過圧シャットオフと本質的な安全対策があり、可燃性ガスの存在による壊滅的な爆発を防ぐのに役立ちます。全体として、300 CAモデルは、複雑なアニーリングおよび拡散プロセスを必要とする半導体デバイス開発プロセスに最適です。堅牢で信頼性の高い設計により、IPS 300 CA装置は基板の拡散とアニールに安全で時間効率の良い方法を提供します。