中古 INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R #9400070 を販売中

INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 Rは、最新の半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイス製造プロセスの厳しい要件を満たすように特別に設計された最先端の拡散炉です。これは、ユーザーが拡散やその他の製造プロセス中に温度、圧力、およびガスの流れを正確に制御し、監視することができる高度な機器です。Power-Trakは、25°Cから1200°Cまでの安定した温度範囲で、高性能な半導体チップ、集積回路、およびその他のマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。このシステムには、優れた再現性と精度を実現するために、プロセスを非常に高精度に制御できる堅牢な30kW RFジェネレータが装備されています。このユニットには、高速応答水晶チューブ熱電対、最先端のデータロギングソフトウェア、およびプロセスを制御および監視するためのグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。Power-Trakはまた、専用の機械式ターボ分子ポンプを備えた統合真空機を備えており、5。0 x 10E-7 Torrの究極の真空を提供します。均質で正確な加熱を確保するために、正確に設計されたサセプターが高精度の拡散ボートに取り付けられ、RFジェネレータによって駆動されます。サセプターは、アプリケーションに応じて手動または自動操作で制御および監視することができます。Power-Trak 75-30 Rは、INDUCTOTHERMのラインナップで最も汎用性の高い拡散炉でもあり、ツールを特定のアプリケーションにカスタマイズするためのさまざまなオプションが用意されています。これらには、高温拡散、急速温度変化アプリケーション、高用量インプラント、および先端材料研究のための特別な設計が含まれます。また、マスフローコントローラ、高圧ガスボトル、複数の加熱ゾーンなどの追加部品で簡単にアップグレードできます。全体として、INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 Rは高度で信頼性の高い拡散モデルで、優れた温度と圧力制御、正確なデータロギング、多彩なカスタマイズオプションを提供します。これは、大量の半導体およびマイクロエレクトロニクスデバイスの生産、ならびに材料研究および先進的なプロセス開発に最適です。