中古 HITACHI / KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF #293711268 を販売中

HITACHI/KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DFは、半導体ウェーハの精密かつ均一な熱処理を実現する最先端の拡散炉です。この先進的な装置は、半導体産業において優れた性能と信頼性を必要とする大量生産環境に最適な革新的な機能とアクセサリを幅広く備えています。主な特長：HITACHI Quixace DJ-1236VN-DF拡散炉は、トップローディング構成の垂直炉システムであり、ウェーハのローディングとアンロードのためのプロセスチャンバーへの容易なアクセスを提供します。このユニットには、複数のウェーハキャリアに対応できる大容量ボートローダーが装備されており、スループットと効率を最大限に高めています。炉室は高純度の石英材料で構成され、優れた断熱性と化学反応に対する耐性を確保し、汚染を最小限に抑え、高純度処理を保証します。プロセスガス流量を正確に制御するための正確なマスフローコントローラを備えた堅牢なガス搬送ツールを備えており、プロセス条件を正確に制御できます。KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF拡散炉は、温度の急激な上昇・降下を可能にする高性能な加熱アセットを備えており、ウェーハの高速かつ効率的な処理を可能にします。このモデルは、各加熱ゾーンの独立した温度制御を備えたマルチゾーン加熱構成を備えており、ウェーハ表面全体で正確な温度均一性を実現します。プロセス制御とモニタリング：Quixace DJ-1236VN-DF拡散炉には、温度、ガス流量、ランプレートなどのプロセスパラメータを正確に制御できる高度なプロセス制御装置が装備されています。このシステムは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、プロセスレシピの簡単なプログラミングとプロセスパラメータのリアルタイム監視を可能にします。このユニットには、高度な温度制御アルゴリズムとフィードバックメカニズムが装備されており、ウェーハ表面全体の正確な温度制御と均一性を保証します。このマシンはまた、炉の安全な動作を保証し、潜在的な危険から資産を保護する統合された安全インターロックツールを備えています。アクセサリーとオプション：日立/国際化Quixace DJ-1236VN-DF拡散炉は、その機能を強化し、特定のプロセス要件に合わせてカスタマイズするために、さまざまなアクセサリーとオプションを用意しています。オプションとして、自動ウェーハ処理用のロードロックチャンバー、プロセスチャンバー避難用の真空ポンプモデル、処理中のウェーハ位置と温度を監視するためのウェーハマッピング装置などがあります。このシステムは、ドーパントガス源やキャリアガス制御モジュールなど、さまざまなプロセスガス供給オプションで構成することができ、幅広い拡散プロセスを可能にします。また、処理サイクルを通じてウェーハのトレーサビリティを可能にする高度なウェーハトラッキング装置を装備することができます。結論：HITACHI Quixace DJ-1236VN-DF拡散炉は、半導体ウェーハの加工において精度、信頼性、効率を提供する高性能ツールです。このアセットは、高度な機能、直感的なユーザーインターフェイス、およびアクセサリの範囲を備えており、半導体産業における熱処理アプリケーションの優れた性能と制御を必要とする大量の生産環境に最適です。