中古 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 #9374936 を販売中

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620は、幅広い付属品を備えた最先端の拡散炉です。この炉は、高温低圧プロセスを使用して産業用基板をアニール、洗浄、パッシベーションするために特別に設計されています。半導体製造、冶金、金属加工など、さまざまな用途に適しています。CX-9620の拡散チャンバーは75。2 x 11。8"を測定し、幅広い産業用途、消費者用途、商業用途に大きな基板面積を提供します。さらに、高温絶縁装置、高効率エアーヒーター、水素・窒素接続を備えています。また、HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620は、低圧動作と拡散チャンバー内の加熱の均一性を提供するために、水平、底面に取り付けられたIDファンを備えています。CX-9620のコントローラは、正確な温度制御とカスタマイズ可能な多数の動作パラメータを可能にするように特別に設計されています。また、圧力センサとガスセンサーを使用して、拡散チャンバ全体の温度の単位整合性と均一な分布を維持する自動プロセス制御システムも備えています。コントローラはさらに安全で効率的な動作を保証し、インターロック機能、および開放回路/短絡保護および過熱保護のための回路が含まれています。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620は、安全性にも優れています。自動化された過熱リミッタ/サーマルカットオフ装置と、温度が所定の設定ポイントを超えた場合に動作を停止する過熱監視装置を備えています。さらに、CX-9620は、加熱された部品との直接接触から人員を保護するための安全鍋と排気ポートを備えています。チャンバーやコントローラーに加えて、日立国際電機CX-9620には必要なアクセサリーが揃っています。このユニットには、基板を所定の位置に保持し、各基板表面の加熱の均一性を確保するためのプラテンアセンブリが含まれています。また、さまざまなサンプルホルダー、るつぼ、基板を備えており、幅広いサンプルタイプに最適です。さらに、CX-9620には電源ケーブル、ガスライン、ユニットの設置とメンテナンスのための専用ツールが付属しています。HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620拡散炉は、アニーリング、クリーニング、パッシベーションの産業基板に最適なソリューションです。堅牢な設計とアクセサリーの幅広い品揃えにより、優れた安全性と信頼性で精密制御を可能にします。