中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186180 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-833Vは、あらゆる用途に信頼性と精度の高いプロセスとモニタリング制御を提供するために設計された拡散炉およびアクセサリーです。600°C〜1500°Cの広い動作温度範囲を備えており、迅速な温度変化と再現性の高い結果が得られます。それは急速な熱を通して部屋の中の均質な大気を提供するように設計され、機能を冷却し、優秀な温度の均等性は優秀な拡散の機能を提供します。HITACHI DJ-833Vのインテリジェントなプロセス制御装置には、熱プロセスを最適化し、操作を簡素化するために設計されたいくつかの事前設定およびカスタマイズ可能なプログラムがあります。さらに、このシステムには、正確なガス濃度と流量の両方を正確に制御するデュアルモード機能を備えた特殊なガス流量モニタが含まれています。5面インテリアクォーツ設計の大型チャンバーは、最大4つの積み重ね可能なプロセスウェーハを内蔵し、ウェーハの取り扱いを容易にするために手動でウェーハ転送機構をユニットに組み込むことができます。また、高効率、低ノイズの強制冷却機能を備え、チャンバー全体で均一な温度環境を確保します。KOKUSAI DJ 833Vもメンテナンスしやすいように設計されています。チャンバーウォール、ボトム、プロセスチューブ用のツールクリーニングプログラムが含まれており、追加のプログラム更新キットを使用してアセットをアップグレードできます。さらに、このモデルには、安定した信頼性の高いプロセスを保証するために、従来のシステムと最新のデータロギング技術の両方を組み込んだ、優れたプロセス監視装置が含まれています。結論として、DJ-833Vは比類のない精度と完全なプロセス制御を提供するように設計された高度な拡散炉とアクセサリーです。その優秀な温度の均等性、プロセス制御システム、大きい部屋のサイズおよび容易な維持はそれをすべてのプロセスおよび拡散の適用のための理想的な選択にします。