中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186179 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-833V
ID: 9186179
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, 8" Open cassette Mainframe Utility box Missing parts Process: Poly H8.3.
HITACHI/KOKUSAI DJ-833Vは半導体産業のために特別に設計された拡散炉&アクセサリーです。それは処理される材料の温度の複雑で、精密な制御を提供し、信頼できる、安全なおよび反復可能な性能を保障する上限および目的作り付けの装置です。独自の設計により、各部品間の最適な間隔が確保され、熱環境の制御に優れています。HITACHI DJ-833Vは、半導体やエレクトロニクスなどの材料を高温で加工するように設計されており、不純物を排除しています。スムーズな積み降ろしのためのジョイスティックを使用して操作される2シェル内壁と前面壁を備えた垂直型炉です。垂直タイプでは、チャンバー全体が積み下ろしドアに対して平行に配置されていることを意味します。この拡散炉の構造は、加工材料の汚染を防ぎ、チャンバー内のプロセスガスの干渉を低減するのに役立ちます。この炉には高度なダウンフロー装置が装備されており、非常に安定した再現可能な熱均一性を促進する最適なプロファイルガス濃度を効率的に維持します。チャンバ内部の温度は、高度なデジタルFXシリーズ温度コントローラを介して高精度で調整され、チャンバ内の温度安定性を厳密に制御できます。温度調節器はまた熱の高圧地帯の空気構造を制御することによってよりよい均等性のための安定した気流を維持する機能を備えています。KOKUSAI DJ 833Vは、正確で再現可能な熱処理を生成する石英または石英コーティングされたタングステンフィラメントを備えたスイングタイプの高効率ダイレクトヒーターも備えています。このタイプのヒーターは、その優れた均一性と高速回復時間のために強くお勧めします。また、温度やヒーターコイル状態などを監視するモニタリングシステムで保護されています。ヒーターは真空プレスセラミックスで内部絶縁され、一定の温度を維持し、低レベルのノイズレベルで動作することを確認します。HITACHI/KOKUSAI DJ 833Vは、半導体、ICチップなどの材料を確実かつ正確に処理するために設計されたハイエンド拡散炉&アクセサリーユニットです。その詳細かつ特別に設計された構造は、高度な温度制御機械と組み合わせて、最大1200°Cの温度範囲で精密かつ再現性のある性能を可能にします。
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