中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-825V #9294270 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-825Vは、半導体製造に適用される拡散炉およびアクセサリーです。コンパクトな設計で、電子デバイスへの酸化物や窒化物の拡散を制御することができます。幅75mmのフロントローディングカセットと組み合わせたコンパクトなボディです。この拡散炉は、最大1,200°Cの温度制御により、小規模品目の拡散プロセスに適しています。実際の炉には、最大2つのカセットを収納できる単一の雰囲気ボックスが装備されています。粗いポンプは均質な拡散を保障するために拡散炉を通してガスの流れを、制御します。チャンバーは、高い熱処理レベルを維持しながら、窒素や他の不活性ガスでガスをパージすることができます。内蔵のマスフローレートコントローラは、低温条件下でもガスの流れを安定させ、完全なコンピューター制御下で動作するため、正確な制御とフィードバックが可能です。その後、システムはメンテナンスのために真空ポンプに接続されます。HITACHI DJ-825V拡散炉は、200 VAC、 50/60 Hzの単相AC入力で動作する高効率ヒーターを搭載しています。ヒーターは自動的に必要な温度に達するとき節電のために消えます。また、反応温度までの加熱速度を制御し、点接触熱暴走現象を防止する「加熱率モニター」を搭載しています。さらに、ヒーターが電源から切断されている場合でも、過熱遮断、ガス遮断、地上障害アラーム/インターロックなどの高度な安全機能を備えています。また、非層構造断熱材を使用することで、低温熱損失のリスクを排除します。容易で安全な操作のために、国際DJ-825V拡散炉にはシンプルで使いやすいコントロールパネルが装備されています。高度な複数出力タイマーとオートストッパーが含まれています。全体として、DJ-825V拡散炉とアクセサリーは、半導体産業における小規模工程のための強力な熱処理ツールです。優れた省エネ、安全性、信頼性により、優れた電子結果を得るためには不可欠です。