中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-823V #9157635 を販売中
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ID: 9157635
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8"
HTO, N2, SiH4, N2O, 450-850C deg
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-823Vは、半導体デバイスで使用される複雑なウエハや電子部品を製造するために設計された拡散炉です。HITACHI DJ-823Vは、高度な設計により、ユーザーに優れた加工品質と制御を提供します。最大1300°Cの温度に達することができ、高精度のコンピュータ制御熱処理などの高度な制御機能が組み込まれています。さらに、ウェーハボンド、リフロー、ウェーハスパイスなどの高温処理能力と標準処理能力を備えています。KOKUSAI DJ-823Vは、炉の中の材料と炉の周囲の環境の両方を保護するのに役立つ電子式ホットシールドを備えています。さらに、エネルギー変動時DJ-823Vも安定した動作を保証する高度な熱監視装置を搭載しています。このモニタリングシステムは、ユニットの内部温度、圧力値、および電流を監視し、緊急時に電源をキャンカットします。HITACHI/KOKUSAI DJ-823Vも汚染の少ない設計です。すべての内部構造は緩和されるか、または低い沈着のコーティングとめっきされます。さらに、炉の部屋はoutgassingおよび塵の混合を防ぐために特別なシーリング材料と組み立てられます。これにより、炉の雰囲気が清潔で汚染物質がないままです。HITACHI DJ-823Vには、拡散プロセス用のクォーツるつぼ、セラミックモジュール、高温絶縁バッシュ、ウェーハプロセス用メカニカルアームなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。また、不活性ガスの蓄積ユニットや、加工後の材料処理用の冷却機など、さまざまなプロセスシステムにも対応しています。KOKUSAI DJ-823Vのコントロールパネルは直感的なインターフェースを備えており、プロセスパラメータを迅速かつ簡単に確立および管理できます。さらに、このパネルを使用すると、統合コントローラにリモートでアクセスし、熱室から得られたデータを観察することができます。これにより、ユーザーはリアルタイムでプロセスを監視し、任意の場所からプロセスを管理することができます。DJ-823V拡散炉はあらゆる半導体プロセスのための強力で、信頼できる用具です。HITACHI/KOKUSAI DJ-823Vは、最新の監視・制御機能、迅速な加工、低汚染設計を備え、最高水準の高品質な部品を製造するために必要なツールです。
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