中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-823V #9157634 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-823V
ID: 9157634
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8" DASI / Doped a-Si, N2, SiH4, Si2H6 1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-823Vは、金属やセラミックスの蒸着合金を通じて半導体材料を創出し、幅広い用途に応用できるように設計されたアクセサリーを備えた拡散炉です。それは2500°Cまでの温度に達することを可能にする高温誘電スタックを含む高度の特徴の広い範囲を特色にします;処理している間目的検査への水晶窓;そして調節可能な率の電源は精密な温度調整を保障します。また、HITACHI DJ-823Vは、大型基板サイズに対応する大容量サセプターを備えており、熱応力を最小限に抑え、非均一加熱によるプロセスパラメータを排除します。KOKUSAI DJ-823Vは最先端の機械であり、強力な炉は広い温度範囲で均一な加熱を実現し、あらゆる温度で優れた生産歩留まりを実現します。これは、高速浸漬時間を可能にする堅牢な炉ドライブシステムを使用しているため、高速スループットを提供します。さらに、専用のクーラント循環バスドライバーで効率的な後処理冷却を実現し、均一性と急速な冷却性能を向上させます。さらに、DJ-823Vは安全性と利便性を念頭に設計されています。直感的なタッチスクリーンインターフェイスとハードシールドにより、オペレータは使いやすさと保護を提供します。また、漏れ検出器やインターロックスイッチも備えており、危険な事故のリスクを低減します。最後に、柔軟な設計により、既存のシステムとの容易な統合と互換性、および特定のアプリケーションに合わせたカスタマイズされた構成が可能になります。HITACHI/KOKUSAI DJ-823Vは、高度な機能と容易な統合を備えた強力で信頼性の高い精密拡散炉であり、幅広い先端半導体材料および合金製造に最適なツールです。
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