中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V #293764658 を販売中
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ID: 293764658
ヴィンテージ: 1996
Furnace
Heater
Process chamber
Cooling water unit
Scavenger
Temperature controller
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Temperature controller
Power box
Rapid cooling unit
Pump box
Gases:
N2
SiH4
PH3
CIF3
Heater power supply: 10 AC, 200 V, 200 A
Controller power supply: 10 AC, 100 V, 30 A
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802Vは、高品質、薄膜、拡散グレードのシリコンウエハの製造に最適な拡散炉で、基板製造業界の進化するニーズに応えるよう設計されています。この炉はコンパクトな設計で、最大1520°Cで動作する特許取得済みの高温内部ループ構造を利用しています。これにより、炉の外部温度を最小限に抑えながら、強力で高温動作を可能にします。また、プログラマブルパワーユニットと高温真空排気装置を備えており、拡散炉の独自の要求に対応して設計されています。このシステムは、より良い均一性のために充電全体でより一貫した温度を確保するのに役立ちます。この拡散炉に加えて、日立DJ-802Vには、ユニットの性能と効率を高めるために特別に設計された多くのアクセサリーを提供しています。例えば、同社はサイズと素材に至るまで、2キログラムまでの素材を保持するように設計された複数の異なるるつぼを提供しています。これらのるつぼは、熱の劣化を防ぐのに役立つ高度なコーティングが標準です。提供される他の付属品には、石英管、タングステンフィラメント、モリブデンなどのさまざまな発熱体があります。それぞれの異なる発熱体は、クォーツチューブははるかに汎用性の高いオプションであると、パフォーマンスの面で明確な利点を提供しています。また、窒素、アルゴン、水素を炉内に分散させるために、対流空気強制流体や地上不活性運搬体などのガス処理システムを提供しています。これらのシステムは、良好な拡散条件が確立され、維持されるように設計されています。HITACHI/KOKUSAIは、Human/Machine Interface (HMI)マシンを独自に提供し、より効率的にKOKUSAI DJ-802Vを操作および監視することができます。このツールには7インチのタッチスクリーンが付属しており、炉の状態に関する最新の情報にアクセスしたり、必要な調整を行うことができます。これには、ユーザーが過去の実行を確認したり、将来使用するためのプロセスレシピを保存したり、範囲外のパラメーターのプログラムアラームさえも可能にするソフトウェアも含まれています。全体として、DJ-802Vは優れた拡散炉であり、多くの基板製造会社の選択です。HITACHI/KOKUSAI DJ-802Vは、使いやすいインターフェース、高温動作、幅広いアクセサリーにより、信頼性の高い効率的な拡散炉をお探しの方に最適なオプションです。
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