中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #9226003 を販売中
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ID: 9226003
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: HLD
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-Hは、シリコンウェーハの熱処理を目的とした拡散炉です。それは高い純度の拡散のコーティングの生産のための完全な用具です。HITACHI DJ-802V-Hには、耐熱性のあるグラファイトサセプターと冷却ファンを搭載し、急速な温度サイクルを実現しています。それは1000°Cまで設定温度に達することができ、高い熱効率および熱均一性が要求される適用のために完全です。KOKUSAI DJ-802V-Hは、耐熱性のあるグラファイトサセプターと効率的な温度サイクリングのための冷却ファンを含む特殊なグラファイトるつぼで構成されています。るつぼは、電子部品、機械部品、冷却部品、電源部品を含むフレームでサポートされています。それは内部への無制限のアクセスを提供する垂直に開くドアを持っています。DJ-802V-Hの温度は、2つの独立した熱電対とPIDレギュレーションによって制御され、正確で反復可能な温度制御機能を提供します。また、プログラムされた温度プロファイル用の2つのPIDランプがあります。それに可聴警報、低雑音水循環装置および温度の保護システム上のあります。HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-Hのデザインは、特別なグラファイトるつぼとフレームに基づいており、同心性と熱均質性を高めています。HITACHI DJ-802V-Hには、ステンレススチールアクセサリーバスケット、石英サイリスタ絶縁管、サンプルレトルトホルダー、RFID自動検出ユニットなどの追加アクセサリーが装備されています。サンプルレトルトホルダーは、密閉された環境でサンプルを均一に加熱するように設計されています。RFID自動検出機械はグラファイトサセプターで使用される化学薬品の正しい適量を保障します。KOKUSAI DJ-802V-Hは、シリコンウェーハの高純度コーティングに最適な最先端の拡散炉です。それはPIDの規則、低雑音の水循環およびRFIDの自動検出用具のような高度の特徴そして付属品の範囲が装備されています。また、可変温度制御と優れた熱均一性を備えているため、さまざまな熱処理アプリケーションに最適なソリューションです。
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