中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293811585 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H
ID: 293811585
ウェーハサイズ: 6"
Vertical Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) furnaces, 6".
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-Hは、精密で高品質なマイクロエレクトロニクスやディスプレイの製造に使用されるように設計された拡散炉およびアクセサリーです。それは急速な熱制御および複数の地帯の水晶管の構造と例外的な信頼性およびプロセス制御を提供します。施設への不正アクセスを防止する高度なインターロックシステム安全機能を備えています。このディフューザーは、迅速かつ簡単な生産変更のために再構成できるように設計されています。HITACHI DJ-802V-Hには、2つのPIDコントローラによって制御される2つのアクティブガスゾーンが装備されており、最適なプロセス温度制御が可能です。それはまた適切に調整されたプロセス温度を保障するために下限のコントローラーと合うことができます。この拡散プロセスは、必要な超安定圧力センサで簡単に監視および正確に調整することができます。メインチャンネルには、最大4つの追加ガスラインを接続するためのサイドアームポートも備えています。KOKUSAI DJ-802V-Hは酸素と窒素の拡散を高めた高温アニールが可能であり、ガスゾーンは蒸着、酸化、還元、エッチングに適しています。効率的な強制熱風冷却システムは、熱干渉を防ぎ、安定したプロセス温度を保証します。十分なガス回廊は、最大4つの追加のガスラインの外部接続を可能にします。DJ-802V-Hは、高度な故障診断機能や改善されたソフトウェア制御システムなど、いくつかの高度な機能を提供しています。さらに、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、パラメータの正確な監視、設定、制御を提供します。それは最適な安全のために証明されるセリウムおよびULです。この拡散炉は、高効率のULコンフォーマルコート電源ユニットと保護用の30リットルのステンレス製クエンチチャンバーを備えています。HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-Hは、高品質のマイクロエレクトロニクスおよびディスプレイを製造するための信頼性の高い効率的な拡散炉およびアクセサリです。それは精密なプロセス制御、複数の地帯の構造、高度の安全特徴、高温アニーリング機能およびユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。HITACHI DJ-802V-Hは、最先端の部品と機能を備え、高品質のマイクロエレクトロニクスの精密生産に最適です。
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