中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #293595916 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-Hは、高速かつ効果的な熱処理のために設計された高効率で信頼性の高い拡散炉およびアクセサリーパッケージです。最大1200°Cの温度で、シリコン、金属、セラミックス、ポリマーなど幅広い基板に対応しています。優れた断熱設計により、優れた温度均一性と再現性が保証され、あらゆるサイクルで信頼できる結果が得られます。チャンバーには高真空センサーとチャンバー圧力モニターが装備されており、0。15Paから大気までの要求に応えるための非常に正確な真空測定と圧力制御を可能にします。また、ヘビーデューティウェーハハンドリング装置とウェーハのサーマルマッピング用の「プローブ」システムを備えています。必要なコンピュータ制御のタイプPIDの温度調節器は、安定した温度調整および反復可能な暖房カーブを提供します、合金のマッフルおよびグラファイトヒーターは急速な暖房および冷却率を提供します。チャンバー構造はSUS304とフランジ設計で構成され、チャンバーをより安定して安全に動作させることができます。チャンバーには3つの標準ポートがあり、複数の再循環パイプラインを設置できるため、温度制御が容易になります。内蔵のウェーハ積み下ろしプラットフォームは、耐熱材料との衝突を避けるために双方向の動きを可能にします。付属のアクセサリーは、熱処理を成功させるために必要なすべてのツールを提供します。高性能の水晶管はオペレータのためにより安全にする高温および速い暖房を提供します。これは、複数の基板との互換性のために設計されています。この炉には、2つのガススイッチング装置、EGAガスミキサー、および正確なガス制御用のガス圧力モニターが付属しています。サポートエグゾーストユニットは、ガス圧力モニターでガスの流れを監視し、信頼性の高い動作と安全性を確保します。熱いガスが炉から排気機に流れるようにすることで、装置を冷却するのに役立つ独立した冷却排水が提供されます。さらに、適合カバーは追加の保護と追加の周辺機器の接続ポートを提供します。日立DJ-802V-H拡散炉とアクセサリーパッケージは、精度と再現性が求められる用途に最適なソリューションです。その優れた設計と機能は、最適なパフォーマンス、均一性、および信頼性を保証します。この高効率ダイナミックチャンバーは、幅広い互換性のある基板により、熱処理の専門家のニーズを確実に満たします。