中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1226V-DF Quixace #293667381 を販売中

HITACHI BJ-1206V-DFは、国際電気株式会社（KOKUSAI Electric Incorporated）の拡散炉および付属品です。これは、拡散層が必要な研究開発（R&D）アプリケーションのために設計されています。BJ-1206V-DFは、垂直加熱を備えた単一のウェーハ炉で、デュアルクォーツチューブ、グラファイトサセプター、ヒーターを備えたプロセスチャンバーで構成されています。それは研究開発の適用のためのぬれたか乾燥した酸化、拡散のドーピング、アニーリングおよび他のプロセスのために設計されています。BJ-1206V-DFは、高温加熱素子を使用して、1250°Cまでの温度と優れた温度均一性を実現します。CVDガスデリバリーシステムと6インチプロセスチャンバーを備えています。+/-3°C以内の加熱温度の均一性は容易に達成されます。また、過温度保護システムとガス噴射システムを備えており、過熱を防ぎながら効率的な運転を実現しています。BJ-1206V-DFはガスの流れと組成を正確に制御し、拡散層の均一性を向上させます。デジタルディスプレイで簡単に操作できる使いやすいタッチパネルPCと、定量的なプロセス制御のためのプログラム可能なタイマーが含まれています。また、ヒーター、プロセスガス、サセプター、冷却ファンの手動および自動操作を提供しています。このBJ-1206V-DFは、さまざまなプロセスのためのN2O、 Ar、またはO2などの多くのプロセスガスと互換性があるように設計されています。また、安定運転のためのバブルタイプの乾燥機や、プロセス温度と圧力を監視するための水晶マイクロバランス（QCM）センサも含まれています。さらに、この炉には、温度と圧力だけでなく、プロセスのガスの流れを監視するデータロガーが装備されています。HITACHI/KOKUSAI BJ-1206V-DFは、研究開発用途向けの信頼性の高い高精度拡散炉と付属品です。1250°Cまでの温度で動作し、優れた温度均一性を持つBJ-1206V-DFにより、拡散層の処理に堅牢な性能を提供します。このマシンのユーザーフレンドリーなPCインターフェイスとプログラマブルデータロガーは、正確な操作と定量的なデータ収集を可能にします。