中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VNは、半導体デバイスの製造に使用される先進的な拡散炉です。革新的な加熱と冷却技術を組み合わせ、加工条件を正確に制御します。この炉は独特の高放射性サセプターと超伝導インターロック型サセプター構造を備えており、優れた熱および電気の直線性と均一性を均一な熱分布に提供します。これは、高周波エネルギーの利用を最大化する最適化されたサセプター/耐火コンビネーションによって達成されます。この炉は、さまざまなプロセスレシピに対応するために、EFEMおよびEFEM+LPモードなどの複数の動作モードを備えた優れた柔軟性を備えています。それは精密な、制御されたガス混合物を可能にするガス選択弁が装備されています。また、温度およびガス圧力制御用のアクティブクローズドループも備えています。プログラマブルコントローラは、オートチューニング、オートクリーニング、オートベンティング、真空およびポンプ制御、タイミング機能など、幅広い制御機能を備えています。コントローラはまた、インテリジェントな診断機能をサポートしており、自動チューンアップとトラブルシューティングを容易にします。この機能は、バッチ処理が必要な場合に特に便利です。拡散炉は容易な維持を特色にし、容易に交換可能なセラミックフレームを備えています。また、簡単なメンテナンスのためのセルフクリーニング機構と統合されています。さらに、ホットスポットの発生を最小限に抑える独自のヒートシンクシステムを備えています。当社DJ-1223VNには、ガス漏れを検出する圧力センサ、融点を監視する温度センサ、不活性な大気を確保するための不活性ガス漏れ検出器など、特殊なセンサと安全装置が付属しています。また、絶縁ガードと電気ショックの発生を防ぐために水洗い二重保護の自動停止を持っています。KOKUSAIのDJ1223VN拡散炉はまた優秀な再生および信頼性を提供します。動作中のノイズ干渉を防止するための高度な高調波補償を備え、動作領域全体の熱勾配の均一性を確保するクロスコンディショニング技術を採用しています。さらに、圧力制御システムとクイックシーリングシステムを備えており、プロセスが完了するまで圧縮機が稼働し続けることができます。要するに、DJ1223VNは優れた熱制御、均一性、および信頼性を提供する非常に高度で信頼性の高い拡散炉です。また、処理条件を正確に制御するとともに、優れた安全機能を備えているため、半導体デバイスの製造に最適です。