中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377454 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN
ID: 9377454
ウェーハサイズ: 12"
Diffusion furnace, 12" Type: SiN.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VNは光学薄膜の急速な熱拡散と急速な熱処理のために設計された拡散炉および付属品キットです。この装置は、さまざまな材料や構造をサポートしながら、高精度で効率的な拡散および急速な熱処理を提供するように設計されています。HITACHI DJ-1223VN拡散炉は、ステージングゾーン、拡散ゾーン、冷却ゾーンからなる3ゾーン設計で、独立した温度制御が可能です。炉は最大1500°Cまで加熱することができ、最適な性能と精度のために赤外線発光ヒーターが装備されています。傾斜水晶チューブは、チャンバー全体に効率的かつ均一な熱分布を可能にし、その熱特性は、各拡散バッチの均一な温度と再現性を保証します。この炉には、± 1°Cの精度で正確な温度測定を可能にするピロメーター設計も装備されています。さらに、アニール、酸化、窒化などの広範囲の拡散および急速な熱処理をプログラムできるデジタル・プログラミングシステムを搭載しています。さらに、手動操作のない自動ドア設計も採用しており、便利で安全な操作とメンテナンスが可能です。KOKUSAI DJ1223VN拡散炉およびアクセサリーキットには、光学モニターやCoolFloodプラズマ源など、さまざまなin-situ計測ツールが付属しています。光モニタは、反射率、透過率、膜厚測定(FTM)など、さまざまなパラメータを測定します。CoolFloodプラズマ源は、急速な熱処理と拡散が進行中のフィルムの制御を支援します。最後に、HITACHI/KOKUSAI DJ1223VN拡散炉とアクセサリーキットには、再現性と信頼性の高い熱処理をサポートする堅牢な断熱材とともに、統合された乾式真空ユニットが含まれています。さらに、このマシンはCE規制基準の認定を受けており、オペレーションの優れた品質と安全性を確保しています。要するに、日立DJ1223VN拡散炉とアクセサリーキットは、光学薄膜用途の急速な熱拡散と急速な熱処理のための理想的なツールであり、カスタマイズ可能な設定と信頼性の高い性能で高精度の結果を提供します。
まだレビューはありません