中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377453 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VNは拡散炉とアクセサリーパッケージです。この拡散炉は、低圧・高温環境を利用してドーピング剤を半導体ウェーハに拡散させ、高い電気性能を発揮します。HITACHI DJ-1223VNパッケージには、ベース拡散炉、トップローディング超高真空カバー、500Wランプアセンブリ、石英チューブ、排気フード、排気ファン、断熱材、および操作に必要なすべての制御回路が含まれています。拡散炉の基盤は2400°Cまでの温度に耐えることができるNF2600A高温合金によって組み立てられ、優秀な熱効率のための低い放射損失の構造と設計されています。超高真空カバーは、クリーンなステンレス鋼で構成され、5 x 10-6 Torrの真空で使用するために設計されています。ランプアセンブリは制御回路からデジタルに制御することができるハロゲンランプの500Wで構成されます；これにより、さまざまなアプリケーションのランプ強度を正確に選択できます。クォーツチューブは、処理中のウェーハの表示を可能にするように設計されており、超高真空を提供しながら光学ピロメーターに接続するように設定されています。排気フードは拡散炉にクリーンな空気を供給するために使用され、排気ファンはオペレータから離れたプロセスから発生するガスを引き出すために使用されます。拡散炉からの熱の移動を止めるのに使用される絶縁材はMNのserconおよびアルミニウム板と製造され、優秀な熱安定性および高い機械強さを提供します外の源からの熱を保ちます。ランプアセンブリを操作するために使用される制御回路およびパッケージ内の他のコンポーネントは、電源、高圧パワーレギュレータ、およびデジタルアナログ集積回路で構成されており、これらはすべて動作プロセスの精密制御を提供するように設計されています。KOKUSAI DJ1223VNは、全体的に非常に優れた拡散炉とアクセサリーパッケージです。半導体ウェーハにおけるドーピングプロセスを精密に制御することが可能で、高性能かつ信頼性の高いツールを提供します。