中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1223 #293636498 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1223は、卓越した信頼性と性能を提供するために開発された拡散炉です。ライン炉のこの上は水晶部品および頑丈な電気装置が付いているステンレス鋼の部屋を特色にします。この炉には、1250Cまでの温度が可能な単一の拡散ゾーンと、正確な温度制御のためのピロメーターが装備されています。プロセスガス（アルゴン、窒素、水素）は再循環ガスシステムから供給され、効果的にガス消費を削減します。炉の内部は、酸素をクリーニングガスとして使用する逆ガス流量ユニットを介して洗浄されます。HITACHI DJ-1223の拡散ゾーンは、ウェーハに沿って接続するための均一な温度を生成するように設計されています。このゾーンは4つの熱領域に分かれており、グラファイト素子によって作動する内部ヒーター機構を使用しています。グラファイト素子は交流電流発生器を介して作動し、汚染を低減し、無重力電源による円弧を除去するのに役立ちます。また、高速リニアロボットやウェーハの積み下ろし用の3つのロードポートを備えたKOKUSAI DJ-1223。ロボットは高いスループット率が可能で、サイクル時間を大幅に短縮できます。ガスフローマシンはプロセス環境から完全に分離され、チャンバーの清浄度の品質を維持します。炉のキャビネットは高い耐食性および強さを提供するステンレス鋼で構成されます。チャンバー内に放射シールドを内蔵し、熱損失を最小限に抑えます。さらに、DJ-1223はフラットエンドの水晶チューブを備えており、チャンバー全体に均一な熱分布を可能にします。品質を維持するために、日立・国際DJ-1223ではメンテナンスや校正を頻繁に行っています。これには、すべてのガスおよびプロセス部品の定期的な交換、ならびに拡散チャンバーとピロメーターの洗浄と調整が含まれます。さらに、炉の部品の多くはガラスやその他の壊れやすい材料で作られているため、すべてのオペレータは適切な安全手順で訓練する必要があります。HITACHI DJ-1223は、高品質の部品と信頼性の高いプロセス性能を備え、先進的な太陽電池、薄膜、ICアプリケーションに最適です。それはまた他の拡散炉の適用の範囲にとって理想的です、それをあらゆる実験室または製作設備への貴重な付加にします。