中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9377460 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VNは、半導体ウェーハの急速熱処理に特化した拡散炉・アクセサリーです。これは、サブミクロンの精度と再現性を必要とする熱酸化、拡散、窒化などの要求の厳しいアプリケーションに最適なツールです。この炉は完全にソフトウェア制御された動作を備えているため、ウェーハの効率的でコンフォーマルな加熱が可能です。炉は一貫した拡散および他の熱プロセスが要求される製作ラインで使用のために設計されています。それは4つの（200mm/8"）ウェーハのバッチを収容できる縦のプロフィール構成を備えています。また、75mm （3インチ）ウェーハ3本と100mm （4インチ）ウェーハ1本にも対応しており、小型・大型のウェーハ加工に最適です。この炉には、2つの熱電コントローラとプログラム可能な温度調整装置からなる独自の拡散セットアップが装備されています。これにより、厳密に制御された暖房および冷却サイクルが可能になり、繰り返し可能な結果が得られます。HITACHI DJ-1206VNの温度範囲は300°C ~ 1300°Cです。KOKUSAI DJ1206VNは、高度な安全システムを備えており、運転者の安全と危険な状態からの環境保護をユーザーに提供します。これらのセーフガードは、ユニットの設計に組み込まれており、ウェーハが900°C以上の温度に5分以上留まるとロックアウト動作機が含まれます。この炉はまた、8種類のプログラム可能な酸化/窒化/拡散/アニーリングプロセスを提供し、最も困難な熱処理を実行する柔軟性をユーザーに提供します。また、各プロセスに4つのプログラム可能なタイムステップを提供します。洗練された制御ツールは、常にプロセス温度の厳密な制御を維持し、熱暴走と過熱を防ぎます。また、DJ-1206VNにはタイマー機能とデータ通信機能が搭載されており、各プロセスの温度と時刻を監視・記録することができ、結果を簡単に評価することができます。KOKUSAI DJ-1206VNは、半導体ウェーハの急速熱処理に特化した拡散炉・アクセサリーです。これは、サブミクロンの精度と再現性を必要とする熱酸化、拡散、窒化などの要求の厳しいアプリケーションに最適です。HITACHI DJ1206VNは、垂直プロファイル構成、2つの熱電コントローラ、プログラム可能な温度調整資産、高度な安全モデル、8種類のプログラム可能なプロセス、4プログラム可能なタイムステップ、タイマーおよびデータ通信機能を備えており、ウェーハを効果的かつ正確に熱処理することができます。