中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9311080 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN
ID: 9311080
ヴィンテージ: 2008
Diffusion system Process: DIFF 2008 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VNは、さまざまな半導体加工アプリケーションで使用できる、汎用性の高い最先端の拡散炉です。400℃と1000℃の間のウェーハ加工が可能な低温真空拡散炉を備えています。このシステムは、拡散温度と酸化温度のランプアップとランプダウンのための高精度で効率的で費用対効果の高い処理を提供します。HITACHI DJ-1206VNユニットは、熱障害段階が低い高速加速度を備え、幅広い温度範囲でのウェーハの急速な拡散と酸化を可能にします。また、マイクロフロー制御技術により、流量、大気ガス組成、圧力を正確に制御できます。これにより、選択的な処理が可能になり、拡散プロセスの速度と効率が向上します。炉に加えて、ツールは、安全性と精度の最高レベルを確保するために設計されたアクセサリーの幅広い選択が付属しています。これらには、正確で一貫した動作を保証するためのさまざまなフィードスループットおよび制御システムが含まれます。このアセットには、熱電ピロメータ、ステンレス鋼の高真空容器、直感的な加熱制御を備えた高精度温度制御も含まれています。KOKUSAI DJ1206VNモデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェースで設計されており、すべての機器制御に簡単にアクセスできます。これにより、ユーザーは操作中にシステムをプログラムして監視することが容易になります。グラフィカルユーザーインターフェイスは詳細なプロセス情報を表示し、ユニットを使いやすいようにします。また、冷却工具のシャットオフや、炉温度が設定限度を超えた場合のシャットオフ可燃ガスなど、さまざまな安全機能を備えています。KOKUSAI DJ-1206VNは全般的に強力で信頼性の高い拡散炉であり、広範囲の温度制御で安定した精密な出力を提供します。このモデルは、高い加速度と低い熱障害段階を備えており、効率的で費用対効果の高いウェーハの拡散と酸化に最適です。アクセサリパッケージは、正確かつ一貫した操作を保証するために、幅広い追加機能を提供します。結論として、DJ-1206VNは速く、安全で、効果的な拡散および酸化プロセスのための優れた選択肢です。
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