中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9263270 を販売中
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ID: 9263270
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
PECVD System, 12"
Main body
Front body lower
Main body upper 1 and 2
Heater
Power box
Blower box
Front body upper
2015 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VNは、環境と真空の両方のプロセスに適した高度な機能を備えた電気抵抗炉です。ステンレス製のベースボディで、室内観察用の垂直壁に2つの石英窓を備えています。炉は、超硬タングステン製の蓋でトッピングされ、セラミック、断熱、モリブデン板を備えています。この炉は、モダンな、グラファイト、抵抗リボン加熱装置によって保証され、最大6つの加熱ゾーンを提供します。それぞれに独立した電源と温度コントローラと石英の熱電対があり、正確な温度監視と測定を可能にします。さらに、抵抗リボンシステムは正確なフィードバックループ特性と高速ヒートアップ時間を保証し、コントローラはアナログおよびデジタル入出力方式、プログラマブルメモリ、およびその他のプログラミング機能を備えています。HITACHI DJ-1206VNは、サンプルセル用アルミナるつぼ、タングステン蓋、サンプルハンドリング用の絶縁チューブなど、複数の拡散アクセサリーが付属する拡散炉です。また、赤外線測定用の水晶管を装備しており、ガス入口、出口、パージ制御システムが含まれています。ガスユニットを使用すると、ユーザーは外部ガスボトルを必要とせずに室内の雰囲気を効果的に制御できます。この炉には、見やすい大型の観察窓、電極寿命を改善するための超硬タングステン管、および調整可能な絶縁体によってシールドされたグラファイト処理室が装備されています。チャンバーの絶縁特性は、より広い温度範囲でも温度を維持するのに役立ちます。また、安全要件を満たすために、アラーム機、ドアインターロックスイッチ、過熱保護などの安全機能を内蔵したKOKUSAI も しています。これらの機能により、動作中の安全性が向上し、特定のプロセスの条件を簡単に調整できます。HITACHI/KOKUSAI DJ1206VNは、総合的なアクセサリー、安全機能、正確な温度監視機能を備えた汎用性の高い電気抵抗炉です。それは周囲および真空の大気のさまざまなプロセスのための理想的な選択であり、それをさまざまな企業および適用のために適したようにします。
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