中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400342 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、主に半導体業界で使用される拡散炉およびアクセサリ装置です。高真空と低真空の両方の炉を組み合わせて、酸化、堆積、窒化、ゲッタリングなどの製造プロセスに単一のソリューションを提供します。サイズが異なる他の拡散炉とは異なり、このモデルは、およそ600mm （w） x 600mm （d） x 600mm （h）の中型拡散炉です。この炉は、特定のプロセスの温度監視と制御に石英結晶を使用しています。炉の内部の部屋はタイプQの水晶からなされ、プロセスの間に優秀な熱伝導性および温度の一貫性を提供します。効率と最高温度の均一性を向上させるために、ゲッタリングニッケル材料が並んでいます。このユニットはまた、優れた酸化、堆積、窒化およびゲッタリング性能のためのマルチゾーン温度制御を誇っています。これにより、チャンバーの複数の領域を異なる温度で加熱することができ、チャンバー全体の温度を均一に制御できます。また、日立DJ-1206VN-DMでは窒素やアルゴンガスを用いた大気制御装置も提供しています。このシステムは、ガスの均一な混合と潜在的な汚染の防止を支援します。このデバイスには、圧力および温度監視ユニット、緊急インターロック、低電圧アラームなどの多くの安全機能も含まれています。また、高温安全限界の自動リセット、背圧制御機、インターロックフリーバルブ、緊急通気工具、断熱監視資産も含まれています。KOKUSAI DJ-1206VN-DM拡散炉は、拡散プロセスの優れた性能と精度を目指して設計されています。半導体業界向けの信頼性と信頼性の高いソリューションです。その堅牢な構造は、包括的な安全機能と多目的な雰囲気制御を兼ね備えており、あらゆる拡散ベースのアプリケーションに最適です。