中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358305 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM拡散炉は、小型半導体や電子部品加工の量産用に設計された、使いやすく信頼性の高い機械です。その均一で一貫した温度設定により、正確で高品質な結果が得られ、直感的なユーザーインターフェイスは効率的な操作を約束します。拡散炉は鋼鉄の外枠および熱分解のグラファイトの内部と組み立てられます。それは内部の空気ジャケットおよび外的なアルミニウム空気断熱材が付いている2層の絶縁材を特色にします。高度な温度制御メカニズムは、特別に設計されたガイドベーンと、チャンバー全体の温度均一性と精度のための断熱板に依存しています。この炉は12。6 x 12。6 cmの加工エリアを提供し、中間膜の接続、裏面コーティング、レーザーリフローなどの操作のための7つのステーションの開口部を備えています。大面積サセプターは、ポリシリコン超硬加熱技術を使用して、熱酸化時に均一な熱を生成します。調節可能なヒーターダウンタイム機能は、温度遷移速度を制御することでスループットを向上させます。拡散炉には、チャンバー内部の圧力を正確に測定するための水晶誘導圧力センサが装備されています。運転中のリアルタイム監視が可能です。PID温度制御機構により、温度安定性と精度がさらに向上し、クリーンな排気システムにより排出ガスのコンプライアンスが保証されます。その高度な暖房機能に加えて、拡散炉は、アクセサリーの範囲を装備することができます。これらには、単一のウェーハローディングアーム、温度センサー、ガス入口、製品確認ランプが含まれます。HITACHI DJ-1206VN-DM拡散炉は、コストを削減し、効率を向上させるために設計され、多くの業界にとって理想的なソリューションです。信頼できる直感的な構造により、一貫した品質の結果を得るための信頼できる選択肢となります。