中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9358282 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、オプトエレクトロニクス部品、半導体デバイス、サブミクロン特長サイズの材料のプロセス開発・製造を目的とした拡散炉およびアクセサリーです。この高効率、高速加熱装置は、熱勾配、シリコンなどの抵抗率を排除するのに役立ちます。HITACHI DJ-1206VN-DMは、高ガリウム（GaCl）ガスを使用した高温高圧（450 Torr）大気を提供する垂直型拡散炉です。最大安定温度は1300°Cで、ベーキングサイクル時間は30分です。また、蒸着、拡散、ドライブインなどの幅広いプロセスに精密な温度制御を提供します。KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、高い生産歩留まりと低コスト運転のために設計されています。その高度な発熱断熱材と冷たいるつぼの構造は、ガス消費を削減し、加熱ゾーン内の温度の均一性を確保するように設計されています。その結果、最適な効率と低コストのユニット生産が実現します。オンボードタッチスクリーンパネルはユーザーフレンドリーで、オペレータの使いやすさを最大限に引き出すように設計されています。プロセスメモリ、レシピ管理、温度記録、クイックツーコンフィギュレーションのアクションメニューなどの機能を提供します。このシステムでは、プロセスパラメータをリモートまたはローカルで監視することもできます。DJ-1206VN-DMのモジュラー設計により、幅広い治具やアクセサリ、データロギングやコンピュータ制御インターフェースが可能です。その部屋の部品はステンレス鋼から組み立てられ、最高プロダクト収穫のために設計されています。さまざまなプロセスと生産ニーズに対応するために、さまざまなオプションのポンプとガスラインが用意されています。このユニットには、プロセスガスを冷却するための窒素噴射ベントマシン、自動ガスパージサイクル、および低メンテナンスフィルターが含まれています。これらの機能は、最大の安全レベルと運用の汎用性を確保します。高性能なHITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM拡散炉は、最適な製品歩留まり、低コスト、および最大限の安全性を提供するように設計されています。優れた温度制御、加熱ゾーンの均一性、堅牢な断熱材などの高度な機能は、最適なプロセス性能を保証するように設計されています。物理蒸着、高温拡散などの加工ニーズに対応する費用対効果の高いソリューションです。