中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9355659 を販売中

ID: 9355659
Vertical LPCVD furnace, 12" Process: LPCVD Nitride CIM: SECS Wafer transfer handling system FOUP Interface EBARA EST300WN MAT 507BW Scrubber 2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、メーカーが高品質の構造と部品を作成するために使用する拡散炉とアクセサリーです。この最先端の拡散炉は、真空タイトな高圧密閉チャンバーと、部品を挿入するための30インチのワークエリアを備えています。スチールフレームの装置は、本体、メインドア、サイドドア、トップドアの4つの部分で構成されています。本体は、1500Wカセットヒーターにより最大1000°Cの温度に耐えることができます。拡散のプロセスは、気体または蒸気をチャンバーに導入することによって作成された制御された大気の形成から始まります。望ましい大気が達成されれば、基質は次に部屋に置かれます。チャンバーは所望の温度に加熱され、チャンバーが冷却されると、ガス/蒸気と基板との間に化学反応が起こり、所望の構造または成分が形成されます。HITACHI DJ-1206VN-DMには、拡散プロセスをより効率的かつ信頼性の高いものにするための重要な機能がいくつかあります。これらには、チャンバーの冷却速度を高速化するように設計された強制空冷システムが含まれます。また、メカニカルインターロックを使用して、メインドアの開口部を2mm未満に制限し、熱損失を低減し、危険物質へのオペレータの暴露を最小限に抑えます。KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、可燃性ガス濃度を制限するために設計された絶縁された加熱されたガス供給機など、さまざまな安全機能を備えています。炉には放熱工具も装備されており、露出した材料を素早く冷却するように設計されており、燃焼性と爆発のリスクを低減しています。これに加えて、DJ-1206VN-DMは操作者が視覚的な表示を使用してプロセスを監視することを可能にするユーザーフレンドリーな制御資産を持っています。このモデルにより、オペレータは自動的にガスを切り替えることができ、拡散プロセスの柔軟性が向上します。HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、安全性、効率性、および拡散プロセスの品質を向上させるために設計された機能を備えた最先端の拡散炉とアクセサリーです。最適な拡散プロセスに必要なすべてのコンポーネントをユーザーに提供し、信頼性が高く効率的な機器を探しているメーカーに最適です。
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