中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #293630241 を販売中
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ID: 293630241
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Vertical LPCVD furnace, 12"
Quixace I-Aldinna
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DMは、さまざまな半導体アプリケーションに使用される高精度で効率的で信頼性の高い拡散炉です。ハイエンドの機能と性能を備えた高速かつ正確な半導体加工ソリューションを提供します。HITACHI DJ-1206VN-DMは、様々なサイズのベーステーブルで設計されており、シングルテーブルトップ真空管炉には、クォーツチューブ径150mm、最大達成可能な真空量5Pa、最大動作温度1250°Cを備えています。これにより、金属酸化物拡散、アニーリング、ろう付け、ドーピング、金属沈着および金属カプセル化アプリケーションに適しています。利便性のため、拡散炉は大型LCDディスプレイを備えた操作しやすいコントローラと、アプリケーションに応じてプロセス設定をすばやく調整できるように簡素化された制御システムを提供します。これは、高温でデバイスを安全に使用することができます統合された内部冷却システムが含まれています。また、拡散炉は真空マニホールドリーク検出器、モノガスコンフォーマルジャケット、真空測定チューブを備えており、安全性と性能を最適化しています。主要な発熱体は管に均等に広がり、格子はきれいになるか、または取り替えること容易です。この拡散炉は、ヒーター短絡保護、自動圧力制御、過熱安全装置、包括的な視覚アラームなどの保護機能も備えています。炉には赤外線温度インジケータも装備されており、チャンバーの温度に対する正確で信頼性の高いフィードバックを提供します。チャンバーは簡単にインストールでき、追加のシステムや機器を必要とせずにメンテナンスフリーです。さらに、ステンレス鋼構造と外部ガラスビューポートは、システムの寿命を延ばし、チャンバー内で進行するプロセスを継続的に監視することができます。全体的に、国際DJ-1206VN-DM拡散炉は、半導体加工のための強力で信頼性の高い選択肢です。優れた精度と効率、一貫した設定調整、複数の安全機能を提供し、最高水準の安全性とパフォーマンスを保証します。
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