中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377433 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DFは、幅広い用途向けに高度な機能を備えた最先端の拡散炉です。拡散炉は高度な真空装置を使用して、ウェーハに薄膜層を堆積させます。この技術は、マイクロプロセッサなどの高性能デバイスや、集積回路の大規模生産に使用されます。HITACHI DJ-1206VN-DFは、高精度加工の要求に応える卓越した精度を提供します。これは、1 x 10-7 Torrの保持真空を実現できる高品質の真空システムによるものです。さらに、拡散炉は± 1°Cの信じられないほどの温度の均等性を特色にし、1250°Cまで温度に達することができます。KOKUSAI DJ-1206VN DFは、温度均一性に加えて、内部熱を効率的に伝達し、熱不安定性を低減するために調整された絶縁ユニットを備えています。これにより、処理中に一貫した正確な温度プロファイルが保証され、高品質の製品の収率が向上します。国際DJ-1206VN-DFでは、モリブデンとグラファイトシールドを一体化したグラファイトサセプターを採用し、熱放射に対する効果的な緩衝材を提供しています。サセプターは、より簡単にプロセス基板やウェーハを導入し、抽出するために、レール上で上昇し、下げられます。さらに、ディフューザーには、より一貫した蒸着を得るために、サセプターを介してウェーハをよりよく回転させるための回転式電動ターンテーブルが装備されています。DJ-1206VN DFには、あらかじめ定義された設定点を通じて機械の電力吸収を監視および測定するために使用できる統合パワーコントロールユニット（PCU）も含まれています。これにより、加工結果の精度と再現性が向上します。最後に、HITACHI DJ-1206VN DFは、拡散プロセスのための包括的なツールをユーザーに提供するために、多くのアクセサリーによってさらに強化されています。液体窒素源、ガス供給資産、プロセスガス監視モデルが含まれています。拡散炉には、自動化されたプロセス制御、プロセスマッピングおよびチューニングアルゴリズムなどの機能も含まれており、可能な限り最高の処理結果を保証します。結論として、DJ-1206VN-DFは高度な機能とアクセサリーを備えた例外的な拡散炉です。高精度の真空装置、温度の均一性、絶縁システム、および統合されたグラファイトのサセプターは効率的で、正確な単位を提供するために結合します。さらに、液体窒素源やプロセスガス監視機など、さまざまなアクセサリーがツールの可能性をさらに広げています。これらの機能を組み合わせることで、HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN DFはあらゆる拡散プロセスに最適です。