中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377430 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF
ID: 9377430
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
PECVD Systems, 12" Type: TiN 2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DFは、高度な設備機能とアクセサリーを備えた高度な拡散炉です。この拡散炉は、均一な温度、高精度、耐久性を必要とする製造および研究用途に適しています。大型ワーキングチャンバー(240 x 400 mm)を搭載し、サンプル荷重は最大120 kgの積載能力を備えています。このシステムには、精密な温度制御のためのファインヒーティングユニットなど、多くの高度な機能があります。この機械は優秀な暖房の性能のために陶磁器の絶縁材およびニッケルクロム合金のヒーターを使用します。また、オンボードLEDを備えたビデオ監視ツールと、プロセスをリアルタイムで監視するための4つのカメラも含まれています。この炉は2つの独立した抵抗加熱システムを備えており、プロセスを高精度に制御できます。トップヒーティングアセットは、制御された加熱速度と最大1200℃の高温を備えたプログラム可能なモデルです。また、迅速かつ簡単なプロセス制御のための10ステップのプログラム可能なランプレートを備えています。最下の暖房装置は熱絶縁された真空を使用して熱交換システムであり、0℃から最大1200℃まで可変性があります。アクセサリーには、2つのポンプ、機械式の真空ポンプ、効率的かつクリーンな処理とキャリアガスの最大抽出のためのターボポンプが含まれています。また、ガス流量を低減し、ポンプの寿命を延ばす真空パージ設備を備えています。安全機能には、温度、電源、ガス供給などのさまざまなパラメータのエラーを検出および診断する自己診断機能が含まれます。また、プログラミング条件用の複数の安全アラームと、温度が最大限度を超えると自動的に電源を切断するサーキットブレーカを備えています。要するに、日立DJ-1206VN-DFは、堅牢で高度なユニット機能とアクセサリーを備えたハイエンドで先進的な拡散炉です。この専門等級の炉は製造業および研究の適用のために完全で、精密な温度調整および優秀なプロセス制御を提供します。安全機能と付属品を備えたこの拡散炉は、耐久性とトラブルのない動作を保証します。
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