中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9377286 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DFは、半導体、エレクトロニクス、フォトニクス産業のニーズに応えるために設計された、先進的な拡散炉およびアクセサリ機器です。この炉は、さまざまな用途に理想的な機能のユニークな組み合わせを誇っています。炉システムには、真空アニーリング、急速熱処理、シート抵抗制御、非常に高速スイッチング電気抵抗加熱ユニット、および多種多様なアクセサリなどの最新の拡散技術が装備されています。また、カスタム設計されたウェーハとコールドプレートを使用して、さまざまなウェーハサイズに対応することで柔軟性を提供します。熱制御メカニズム、拡散炉、アクセサリーなど、機械のコア部品はすべて、最も厳しい業界標準を満たすように設計されています。この炉は-200〜+1300Cの広い温度範囲で、優れた再現性と低オフガス化を実現しています。拡散炉はまた、加熱速度、浸漬時間、ドウェル時間などの多くの設定で精密熱制御を提供します。このツールには、資産をさらに強力にする多数のアクセサリーも付属しています。たとえば、ウェーハの自動ロード/アンロードを可能にする2つのロボットウェーハンドラー、ロボットモーションコントロールシステム、および簡単な操作を可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しています。さらに、付属品はテレサービス機能を提供し、主要な炉の機能への遠隔アクセスを可能にします。最後に、このモデルには、ウェーハの汚染を防ぐために重要なカスタム設計の保護システムを装備することもできます。これらのシステムには、不活性ガス供給装置、化学蒸気沈殿システム、真空ユニット、および現場洗浄機が含まれます。これらの高度な保護システムは、最高品質のウェーハ生産を保証し、ダウンタイムを最小限に抑えるのに役立ちます。要するに、日立DJ-1206VN-DFは、優れた柔軟性と幅広いアクセサリーを提供する高度な拡散炉ツールです。それはいろいろな適用のために適しており、調節可能な温度較差および速い切換えの電気抵抗の熱資産は速く、精密な熱制御を提供できます。このモデルはまた、ウェーハの生産を最高品質に保つために、汚染やダウンタイムに対する保護を提供します。