中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DF #9241673 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9241673
ヴィンテージ: 2011
Diffusion furnace
Process: Poly_DS
System configuration:
Furnace unit:
(5) T/C Heater controls
(5) T/C for over temperature protections
5-P T/C for cascade controls
Cartridge heater
Controller:
(2) Gas flow pattern panels
(2) Temperature controllers
Main controller (OU)
Main operation unit
Sub operation unit
Process module controller
MFC / Pressure unit
FOUP Loader controller unit
Wafer handling controller unit
Valve / Interlock control unit
Switching unit
Signal tower (Front)
Drive mechanisms:
(2) Wafer detections
I/O Shutter
AGV/PGV/OHT Stage
FOUP Loader
Rotation FOUP storage
Foup opener
Wafer transfer
Variable wafer pitch converter
Boat elevator
Boat changer
Furnace port shutter
Boat rotation
Gas system:
Gas unit (IGS)
Exhaust system:
(3) Valve heaters
Dry pump & mechanical booster pump
Pressure sensor (1000 Torr)
Pressure sensor (10 Torr)
Pirani sensor
Main valve
Exhaust piping
Exhaust dilution line
Reactor tube press leak line
Jacket heater pipe exhaust pipe
Tape heater for exhaust pipe
Inlet heater
Safety: Light curtain system
Other:
(2) OHT I/F Units
(2) Chemical filters
Gateway-HSMS
RF ID Reader
N2 Purge load lock system:
O2 Monitor / Detector
FOUP Opener N2 purge system
Loading area N2 flow control MFC
Loading area N2 purge line
FOUP Opener N2 purge line
Power supply: 120 VAC, 1 Phase
2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DFは熱処理された金属部品の製造に使用される拡散炉および付属装置です。このシステムは、拡散コーティング工程で正確で再現性のある高品質な結果を提供するように設計されています。この炉は垂直傾斜設計を使用して、熱処理のための効率的で費用対効果の高い省スペースのソリューションを提供します。さまざまな生産環境で使用できるように設計されたこのユニットは、直径50cm、長さ200cmの加熱チャンバーを備えています。この部屋は480のkgの積載量の6つの部品まで、一度に握ることができます。この機械はまた850°Cからの1150°Cに温度の広い範囲を提供できます。このツールは、絶縁セラミック繊維レンガを使用しているため、非常にエネルギー効率が高く、超低漏れ設計と効率を最大化するための40mm厚のドアがあります。アセットに付属のアクセサリパッケージは、部品を構成する際に安全で効率的な作業環境を提供するように設計されています。それは拡散炉、排気フード、温度調節器の単位、保護衣類および他の複数の付属品のための床マウントされたサポート立場を含んでいます。各コンポーネントは、効率的で正確な作業環境を提供するために設計されています。拡散炉の制御モデルは使いやすいように設計されています。オンボードk型の熱電対は、温度プロファイルを正確に監視することができますが、時間設定されたデジタルコントローラを使用して、拡散コーティングに必要なすべてのパラメータを設定します。日立DJ-1206VN-DFは、安全で効率的な作業環境を提供するとともに、ISO9001が求める安全基準をすべて満たしています。機器内のすべてのコンポーネントは、最高品質であることが認定されており、使用の繰り返しサイクルに耐えます。KOKUSAI DJ-1206VN DFは、高品質の熱処理部品を製造するための効率的で費用対効果の高い安全な方法を提供するために設計された強力な拡散炉およびアクセサリーパッケージです。このユニットは、効率的な設計、使いやすい制御システム、および認定された高品質のコンポーネントにより、あらゆる生産環境に確実に信頼できる結果を提供します。
まだレビューはありません