中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-CX5 #9233610 を販売中
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ID: 9233610
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
System, 12"
Process: Zro
Front body
Main body
Front upper
Heater
Power box
Blower box
GMP Box
Source box
O3 Generator
Killer box
N2 Purifier
IGS Box
Vacuum line
N2 Purge box
Heater exhaust
Damper frame
Main upper
Heater upper
(5) Boxes
(120) Process wafers
I/O Port / SMIF: FOUP
Load Lock: L/L
(25) Carrier slots
Operation screen: Touch screen
Vacuum pressure control: VAT
Controller transformer: 208V, Single phase
Heater transformer: 440V, 3 Phase
Oxygen analyzer: NGK
Module name:
Process gas 1: N2
Process gas 2: He
Process gas 3: Zr
Process gas 4: O2
Gas distribution system:
Basic style: conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
MFC: STEC
Ozone system: MKS
Manual & air-operated valve: FUJIKIN
Exhaust distribution system:
Air-operated valve type: VCR Connect
Main valve: VAT
Pump line
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
(16) Cassette storages
Wafer transfer type: 1 + 4
Fork material: AL2O3
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: RHC
(5) T/C Types
(5) Spike T/C
Missing parts:
CX5000 System controller
CQ1700 Temperature controller
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-CX5は、高品質の拡散処理を提供するために設計された拡散炉とアクセサリーパッケージです。これは、正確な温度調整を可能にするコンピュータ制御のタッチパネルの増減装置を備えています。炉の周波数は最大400Hz、最高温度は1,300°Cです。また、エッジコーティングされたグラファイトサセプターを備えており、熱分散を最小限に抑え、クリーンで均一な加熱面を実現します。システムは、効率的かつ一貫した操作のために設計された拡散プロセスのための2つの石英ボートのセットが付属しています。ボートの内径は17。2mm、外径は19mm、最大容量は1mlです。また、渦電流損失を最小限に抑え、一貫した温度を保証する静電バッフリングユニットも付属しています。パッケージには、水冷マイクロプロセス制御ユニットが含まれており、動作温度を低減し、サーマルドリフトを最小限に抑えることができます。また、強制空冷剤を使用して安定した動作温度を維持する効率的な冷却機を備えています。さらに、拡散炉は最大5時間のアクティブ作業時間を持ち、拡散プロセスを迅速かつ効果的に完了させることができます。拡散炉に加えて、パッケージには、クォーツトレイ、バランシングマウント、ウェイトパンなどのアクセサリーが含まれています。エアーコンプレッサーも付属し、炉への空気の安定した流れを提供し、拡散プロセスの効率を向上させます。HITACHI DJ-1206VN-CX5パッケージは、あらゆる拡散処理ニーズに最適です。その精密な温度制御、高効率の冷却ツール、安定した動作温度と長いアクティブ作業時間、それはあらゆる拡散アプリケーションに最適です。
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