中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V #9377252 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206Vは、半導体デバイス製造に使用される様々な熱処理を行うために設計された拡散炉です。これは、1400°Cまでの温度にサンプルを加熱するために放射を使用する急速な熱処理ツールです。温度の均一性は、複数の石英放射ランプでチャンバー全体にわたって維持されます。さらに、チャンバーはステンレス製で、セラミックヘリウムガス分配板を備えています。これにより、プリムガスの均一な分布と一貫した加熱が保証されます。HITACHI DJ-1206Vのさまざまな機能により、ユーザーにとって理想的な選択肢となります。自動クリーニング機構により、プロセス全体を通して内部表面を効率的に清潔に保つことができます。それはまた自動的に部屋の空気漏出を検出し、表示できます。拡散炉には、データ収集と監視のためのインタフェース機器も含まれています。これには、Windowsベースのソフトウェアパッケージとグラフィカルユーザーインターフェイスが含まれます。この炉には、ガス供給システム、圧力トランスデューサ、ヒーター、発熱体など、いくつかのアクセサリーが付属しています。このユニットは、信頼性の高いガス供給を提供し、動作中の設定を簡単に調整できるように設計されています。圧力トランスデューサは、それが安全範囲内にあることを確認するためにチャンバー内の圧力を測定します。ヒーターと加熱素子は、ヒーター素子から基板に熱を伝達するデバイスを使用して、チャンバー内の温度の均一性を維持するのに役立ちます。KOKUSAI DJ-1206Vは、内部部品に加え、環境モニタリングマシンも内蔵しています。このツールは、ガス組成または圧力の変化や偏差を監視するように設計されています。バリエーションがソフトウェアに設定された境界を超えた場合、アセットは自動的に調整を行い、ユーザーに通知することができます。全体として、DJ-1206V拡散炉は、さまざまなタイプの半導体デバイスにハイエンドの熱処理を提供できる高度で信頼性の高いツールです。様々な産業用途で使用でき、幅広い用途での使用に適しています。