中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9285059 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DFは、半導体デバイス製造用に設計された最先端の拡散炉およびアクセサリ装置です。このシステムは、1206°Cまでの温度が可能な高温炉と、複数のレベルの真空互換性を持つ拡散室を備えています。この炉には、精密な温度制御を可能にするコントローラと、その他のさまざまな機能が含まれています。HITACHI DJ-1206V-DFは、主冷却室とサブクーラー、6ゾーン制御ヒーターとゾーン熱電対ヒーターで構成され、どちらも真空タイトな原子炉に収容されています。ユニットは別の電源で駆動され、ゾーンのいずれかの過熱の場合にはオートシャットオフされます。機械にはガス供給機構が内蔵されており、運転中にチャンバーへの自動ガス供給が可能です。ガス供給は、酸素、窒素、アルゴン、または他の不活性ガスなど、さまざまな大気を作り出すために使用することができます。自動化された温度およびガス制御に加えて、HITACHI拡散炉およびアクセサリーには、いくつかの安全機能が装備されています。これには、主冷却室のオン/オフスイッチが含まれており、炉を開く前に工具をシャットオフすることができます。チャンバーには、アセットに入る前にすべての不純物がガスから取り除かれるようにするエアフィルターも含まれています。この炉には、熱暴走や過熱を検出するセンサーも含まれており、部品を保護して害を防ぐためにモデルをシャットダウンします。さらに、KOKUSAI DJ-1206V-DFには様々なアクセサリーが追加されています。これには、基板の積み降ろし用のウェハチャックと、リモート真空制御ポートが含まれます。また、スパッタリングチャンバー、ターボスターガスファイアアシスト、RFフィルムなどの周辺機器も配列しており、既存のプロセスシステムに簡単に組み込むことができます。全体として、DJ-1206V-DFは、半導体デバイス製造のニーズを満たすように設計された効率的で信頼性が高く、汎用性の高い拡散炉およびアクセサリシステムです。ハイエンド生産用の拡散炉とアクセサリーユニットが必要な場合でも、基本的なセットアップだけでも、このマシンはクラス最高のものです。