中古 HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #293630231 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF拡散炉は、多機能拡散炉です。半導体、LED、薄膜蒸着プロセスなど、さまざまなプロセス用途で使用できるように設計されています。この装置は、最大1250°Cの大きな調整可能な温度制御範囲を備えており、優れた均一性を備えており、最大4インチウェーハの処理が可能です。低い20kW電力定格で非常にエネルギー効率が良いように設計されており、省エネルギーを確保しています。この炉は、より高いレベルの性能に達することを可能にする多くのユニークな機能を備えています。ウェーハの自動交換とエンドポイント制御が可能で、プロセス全体を完全に制御できます。また、温度の均一性を確保し、温度を制御して温度の一貫性を維持することにより、プロセス熱予算を低減するクールなプロセスチャンバーを備えています。また、主なプロセスパラメータを測定し、ガス組成やグロー放電測定などのフィードバックを提供する光学放射モニタリングシステムを内蔵しています。また、OIS （Oxygen Injection Unit）を内蔵しており、チャンバに正確な酸素量を供給することでチャンバ動作を改善し、プロセス環境の制御を容易にします。OISはまた酸化を減らし、部屋をきれい保つのを助けます。さらに、炉にはビューポートとクリーニングツールがあり、便利なサンプル観察とメンテナンスのためのアクセスが可能です。また、正確で再現性のあるプロセス制御と信頼性の高い操作を保証するために、完全なSCADA制御を備えています。統合されたデータ記録機によって、貴重なプロセスデータは容易に記録し、監視することができます。HITACHI DJ-1206V-DF拡散炉は、半導体、LED、薄膜蒸着用途に最適なコンパクトで信頼性の高い拡散ソリューションです。その大きな温度範囲、正確な温度の均一性、低い電力定格、およびその他の多くの便利な機能により、プロセスの最適化を簡単かつ費用対効果の高いものにするように設計されています。