中古 HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH #9288564 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-9200GH
ID: 9288564
ウェーハサイズ: 6"
System, 6".
HITACHI/KOKUSAI DD-9200GHは半導体加工のために設計された拡散炉および付属品です。このシステムは、ダイレクトドライブ、セルフチューニング、高温拡散炉であり、信頼性と再現性の高いアニーリング性能を提供します。± 3°Cの精度で最大1200°Cの温度を達成できるため、シリコンやヒ素ガリウムなどの半導体材料の加工に最適です。高性能なソリッドステートリアクターを搭載し、優れた基板温度の均一性を維持しながら、急速なサーマルサイクルが可能です。その統合された水晶管および陶磁器の発熱体は最高のエネルギー効率を保証し、時間およびお金を節約します。また、信頼性が高く、継続的に調整可能なガス供給を備えており、一貫した均一で再現性のある処理環境を維持します。このシステムはユーザーフレンドリーなメカニクスとプログラミング機能で設計されており、サーマルプロセスのセットアップと動作を簡素化しています。AC制御ユニットは、プログラミング、リアルタイム監視、データロギング、アラーム表示、温度グラフ、診断など、炉の動作を制御する直感的なインターフェイスを提供します。この炉には、過熱保護や自動化された密閉シールなどの安全機能が組み込まれています。安全機能により、アニールおよび拡散プロセスが安全かつ最大限の効率で実行されることが保証されます。さらに、炉はアクセサリーの範囲との互換性のために設計されています。これには、水晶チューブシール、カバー、持ち上げ治具、基板ホルダー、およびアダプタが含まれます。これらの付属品は炉が快適に処理の条件の範囲を収容できることを保障します。全体として、日立DD-9200GH拡散炉は、高度な半導体加工アプリケーションに最適です。その一貫した効率的な性能と高度な安全対策を組み合わせることで、あらゆる半導体実験室にとって信頼性の高い強力なツールとなります。
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