中古 HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729 を販売中
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販売された
ID: 293637729
ウェーハサイズ: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853Vは、工業用の高度な拡散炉および関連アクセサリーです。それは500-1200°Cの温度較差が付いている密集した、縦に整理された炉および1150°Cのプログラム可能な最高温度です。この信頼でき、安定した炉は高いスループット、安価および精密な熱処理のために特に設計されています。日立DD-853Vには、グラファイト炉ライナーとセラミック絶縁リアクタントゾーンがあります。3つの高出力ゾーンを均等に配置した垂直加熱構造を採用しています。これにより、正確な分散温度制御と均一な熱処理が可能になります。その高度なチャンバー設計は、セラミックチャンバー内のリアクタントガスの均一な微細分布を提供し、高いプロセス効率をもたらします。また、使いやすく、高解像度のタッチパネルモニターと制御装置を備えており、現在のプロセス状況、動作パラメータ、リアクタントガス流量を表示します。また、信頼性の高い最先端の制御システムを備えており、温度、プロセス、応答制御ソフトウェアが付属しています。この制御ユニットは、正確なプロセスのセットアップと制御を可能にします。また、高速化とサイクルタイム短縮を実現する自動スプール搬送や排気ラインのソリューションもDD-853Vしています。制御機械から作動させることができる事前調整された材料固有のスプール輸送機能は、余剰消費を最小限に抑え、一貫したプロセス再現性を保証します。排気ラインのソリューションはまた、大気汚染とドーパントの損失を低減し、運転中のエネルギーとリソースを節約します。さらに信頼性の高い動作とユーザーの安全性を確保するために、DD-853Vには安全弁、ガス入口遮断、温度オーバーシュート防止、および自動過圧放出が装備されています。これらの保護策により、一貫性のある再現性のあるプロセスとユーザーの安全性がさらに確保されます。結論として、HITACHI/KOKUSAI DD-853Vは、信頼性の高いプロセス再現性と一貫した結果を提供するように設計された高品質の拡散炉および関連アクセサリーです。その高度なチャンバー設計、簡単に操作可能なタッチパネルモニターと制御ツール、自動スプール輸送および排気ラインのソリューション、および洗練された安全性と過圧放出機能により、高スループット、低コスト、正確な熱処理のための貴重な資産となります。
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