中古 HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214 を販売中
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ID: 293643214
ウェーハサイズ: 8"
System, 8"
Process: J2 Pyro
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Controller power: 120 VAC, Single phase
Heater power: 208 VAC, Single phase
Hard Disk Drive (HDD)
Power box
Heater upper cover
Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE)
Torch heater
CX1317 Torch controller
ATCS-15 SCHUMACHER
CQ1600 Temp controller
PLC OMRON
CX3202 Gas controller
Gas box
Gas box DCE Line
CX3002/B Main controller
D4EX05486 transformer
SIC Liner tube
SIC Boat
SIC Boat cap
SIC Boat Pin
SIC Torch liner tube
Temperature controller:
Heater controller
Heater over
Driver mechanisms:
I/O Shutter
I/O Stage
FOUP Loader ARM
Wafer detection: 25 Uin
Wafer transfer
1+4 Ceramic fork
Boat elevator
Sealcap
Turntable
Pendent
No heater
Racks:
(4) Lower 2
(5) Upper 2
(2) Sub 2
Gas supply:
MFC
Valve
Torch unit
ATCS-15 Absolute temperature control system
Drivers:
E-Axis motor
R-Axis motor
Z-Axis motor
X-Axis motor
Y-Axis motor
V-Axis motor
CS-Axis motor
CZ-Axis motor
CX-Axis motor
CY-Axis motor
OR-Axis motor
Exhaust system:
HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve
Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853は、拡散処理やアニーリング処理に使用する際に、ユーザーの高いユーザーコントロールとパフォーマンスを提供する拡散炉およびアクセサリーです。HITACHI DD-853には、温度、タイミング、ガス純度を制御できる独自の高精度制御装置が装備されています。炉ボディは耐久、上限材料の組み立てられ、余分な摩耗および破損からプロセスおよび環境を保護するように設計されています。KOKUSAI DD-853の中心には、垂直に取り付けられた単一セルのコイル型水晶リアクターがあります。この垂直位置決めにより、拡散およびアニーリングプロセスの優れた性能を実現します。炉は1450°Cまで温度に達することができ、3.2kWの最大電力を提供することができます。温度の均等性は家具ボディの長さの上下の+/-5°Cの内で維持されます。拡散プロセス監視システムは使いやすく設計されており、ユーザーはプロセスを慎重に調整して最適なパフォーマンスを得ることができます。炉には、拡散およびアニーリングプロセス中にきれいな空気が使用されることを保証するために、エアスクラビングユニットも装備されています。この機械はフィルターおよび冷却装置を含み、閉鎖ループ用具で作動します。圧力容器は資産に統合され、拡散またはアニーリングプロセスに必要な承認されたガスで満たされます。この炉には、プロセスを最適に制御するために一連の圧力および変位センサーが装備されています。DD-853には、ピロメーター、顕微鏡、イメージングモデルなどの一連のアクセサリーやイメージングツールも含まれています。この組み合わせにより、ユーザーは拡散プロセスとアニーリングプロセスを正確に監視できます。ピロメーターはアニールまたは拡散の間にサンプルの温度を測定し、詳しい読書を提供するように設計されています。顕微鏡およびイメージング装置は、拡散またはアニールされたサンプル材料の画像を提供しながら、高いレベルの詳細と精度を提供するように設計されています。最後に、HITACHI/KOKUSAI DD-853は、ユーザーと環境を保護するために設計されたさまざまな安全機能を備えています。炉は、必要に応じて自動的に電源を遮断するために、地上の障害遮断器と圧力制御バルブで設計されています。排気フードはクリーンな排気経路を提供するように設計されており、多段のろ過システムは発煙をキャッチして制御します。炉には緊急停止ボタンもあり、押すと直ちに電源を遮断します。HITACHI DD-853は、拡散炉とアクセサリーであり、拡散およびアニーリングプロセスにおいて高い制御と性能をユーザーに提供します。このユニットには、ユーザーがプロセスを慎重に制御し、結果を監視できるさまざまな機能とアクセサリーが含まれています。さらに、安全機能により、拡散およびアニーリングプロセス中にユーザーと環境が保護されます。
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