中古 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238012 を販売中
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ID: 9238012
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (HCL)
Process gas: N2, H2, O2, HCL
Loading system:
Front operation panel: R-Axis
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6" (every 25)
I/O Stage check: Air off
CX 3002 Cassette loader
Wafer transfer: Air Off ((5) vacuum tweezer, 6")
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
MFC1: 30SLM
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas:
MFC4: O2 2SLM
MFC5: HCl 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / Close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833Vは、さまざまな材料に精密な温度制御と均一性を提供するように設計された高度な拡散炉とアクセサリーパッケージです。モリブデン第六壁加熱室、高出力クォーツチューブタイプ加熱素子、二段ダイヤフラムポンプ、高精度温度コントローラを備えています。これらの特長により、日立DD-833Vは様々な拡散工程において、最大1,400°Cまでの温度を密接に制御することができます。この炉は、金属やガラスの薄膜蒸着、CVDプロセス、熱処理など、急速な熱拡散を必要とする用途に使用できます。KOKUSAI DD 833Vのモリブデン加熱チャンバーは、熱損失を最小限に抑えて素材を急速に加熱するように設計されています。水晶管タイプの発熱体は、正確で一貫した熱拡散のための温度変化に正確な応答を提供します。炉の隣にある2段ダイヤフラムポンプは、表面汚染のリスクを低減するのに役立ちます。高精度の温度調節器は精密な温度調整および均等性を提供し、拡散炉の速く、正確な操作を可能にします。パッケージには、DD 833Vの操作を強化するために設計された追加のアクセサリーも含まれています。炉内のサンプルの位置決めを支援するために、高さ調節可能なホルダーが付属しています。リフトメカニズムにより、熱処理の際にサンプルに簡単にアクセスできます。拡散炉に乾燥ガスなどの追加電源を供給するために、別の電源モジュールが付属しています。さらに、拡散プロセスを正確に制御するために、さまざまな炉制御パネル、電気部品、およびその他の付属品がDD-833Vに含まれています。コントロールパネルは使いやすく、直感的なコマンドと温度と拡散の進行を監視するさまざまな指標を提供します。電源への安全で信頼性の高い接続のために必要なすべての電気部品が含まれています。KOKUSAI DD-833Vは、高度で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーパッケージで、さまざまな材料に精密な温度制御と均一性を提供します。HITACHI DD 833Vは、優れた加熱システム、付属品、使いやすいコントロールパネルを通じて、熱拡散をシンプルで複雑なプロセスにします。
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