中古 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238011 を販売中
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ID: 9238011
ウェーハサイズ: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (DCE)
Process gas: N2, H2, O2, DCE
Loading system:
Front operation panel
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6"
I/O Stage check: Air off
Cassette loader check: CX 3002
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
Missing MFC1
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas
MFC4 / O2 2SLM
MFC5 / N2 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A
ETC: DCE Power 1Φ, AC 100 V, 5 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833Vは、さまざまなサイズ、形状、グレードの金属および合金の正確で信頼性の高い拡散を提供するように設計された拡散炉およびアクセサリーです。その汎用性の高い設計により、融合、合金堆積、真空合金、およびその他の様々な拡散プロセスなどのさまざまな種類のプロセスに使用することができます。HITACHI DD-833V拡散炉には、外側の保護シェルに囲まれた暖房用の真空チャンバーを備えた二重壁ボディがあり、熱損失を防ぎます。炉は1350°Cまでの温度を提供し、拡散プロセスの間に制御された大気を維持できるように設計されています。高精度自動制御システムを搭載しており、デジタル表示で温度を正確に調整することができ、制御が容易です。KOKUSAI DD 833Vには、さまざまな用途に使用できる様々なアクセサリーが装備されています。それは、材料の多種多様な形状やサイズを処理することができます大きなトレイを含む、様々なるつぼやトレイが含まれています。また、高精度の粉末フィーダを内蔵しており、粉末を基板に正確に堆積させ、正確な拡散を実現します。HITACHI DD 833Vは、高信頼性と耐久性を兼ね備えたヘビーデューティ設計により、メンテナンスを必要とせずに数時間連続運転が可能です。また、潜在的な事故や誤動作を防ぐ追加の二重壁ケーシングで、安全かつ安全に設計されています。また、さまざまなセンサーやモニターを搭載しており、ユーザーは炉の温度や雰囲気を継続的に監視することができます。DD 833V拡散炉は、精度と信頼性のために設計されており、様々な金属や合金の正確かつ正確な拡散を提供します。使いやすく、安全で、耐久性に優れているため、拡散業界のさまざまなアプリケーションに最適です。
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