中古 HITACHI / KOKUSAI DD-833V #293749184 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-833Vは、幅広い用途に対応する高精度温度制御を実現するために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。それはウェーハの均一な暖房を達成するためにガス混合物が渡される縦の水晶管を利用します。内径が大きいため、ウェーハと層厚のバッチを同時に処理することができ、高温精度で伝達時間と熱伝達を正確に制御することができます。拡散炉は3軸モデルで、複数のゾーンの温度を正確に監視および制御するための光学ピロメーターを備えています。また、温度制御用の水晶チューブプロテクター、水晶チャンバー、水晶ベルジャーも含まれています。高品質で耐腐食性のステンレス製で、半導体パワーレギュレータ、電子圧力モニタ、緊急遮断、レベルインジケータを備えています。当社DD-833Vのアクセサリーには、真空チャンバー、ターボ分子ポンプ、ロータリードライブ、安全弁、フローコントローラ、圧力スイッチ、圧力計、ウェーハ熱検出器などがあります。真空チャンバーは、拡散炉プロセスにおける空気の存在を排除するのに役立ち、高品質の結果を保証します。ターボ分子ポンプは、拡散炉からガスを取り出すために高速で機能し、回転駆動は拡散炉の内部のウェーハを処理しながら回すために使用されます。付属の安全弁は、必要なときに急速に圧力を制限するように設計されており、フローコントローラはガス混合物が正確に調整されていることを保証します。圧力ゲージと圧力スイッチは、処理中の圧力レベルを監視および制御するように設計されています。ウェーハ熱検出器は、ウェーハ温度に対する視覚的なフィードバックを提供します。また、KOKUSAI DD 833Vには2つの冷却システムと温度コントローラがあります。最初の冷却装置は排気マニホールドに設置され、拡散炉を離れるガス混合物をすばやく冷却するように設計されています。2番目の単位は乾式の冷却であり、温度調節器は50から1000°C。の範囲内の温度を正確に調整するのを助けます。HITACHI DDの833V拡散炉および付属品機械は温度の精密な制御および熱変数の流れを提供し、それを広い範囲の適用のための理想的な選択にします。