中古 HITACHI / KOKUSAI DD-823V #9135167 を販売中
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HITACHI/KOKUSAI DD-823Vは、多種多様な材料や化合物を迅速に処理するために設計された先進的な拡散炉およびアクセサリ装置です。拡散炉は、集積回路や半導体などのマイクロエレクトロニクス製品の製造に使用されています。HITACHI DD-823Vは、大量のウェーハ拡散、化学蒸着（CVD）、イオン注入など、特定の用途に対応する再現性のある高温環境を提供します。KOKUSAI DD-823Vは、均一な熱分布、精密な温度制御、および高温精度のための3ゾーンの石英チューブ炉を備えています。DD-823Vのための温度較差は500°Cから1200°Cです。内蔵の二重圧力制御、強制ガス循環、アラーム付きのインターロック安全システムが含まれています。この炉は、冷却性能を向上させる冷却ファンと、正確な圧力測定のためのオプションの真空/圧力計を備えています。HITACHI/KOKUSAI DD-823Vは、生産を高速化し、正確な温度設定を支援するための様々なアクセサリーを備えています。リアクターホルダー、ジグキット、排気アダプタ、酸素流量計が付属しています。ジグキットは、ウェーハ全体に均一な温度プロファイルを作成するのに役立ちますが、酸素流量計は酸素流量の正確な制御を可能にします。炉はまた適用の指定に従って温度を調節するための温度調節器を含んでいます。HITACHI DD-823Vは、過温度アラーム、範囲外アラーム、赤外線モニターなど、さまざまな安全ユニット機能を提供しています。さらに、炉には、危険な状況が発生したときにオペレータを保護するための緊急遮断スイッチと火災警報が含まれています。高品質のセラミックブロックや絶縁材を使用し、高温で長時間動作することのできる、長寿命で信頼性の高い機械を保証する国際DD-823V。DD-823Vは、多様な材料で拡散やCVD加工を行う必要がある方に最適です。高速な処理時間、正確な温度制御、および保護と信頼性を高めるためのさまざまな安全機能を提供します。研究所でも産業でも、優れた性能と長期運用を実現するDD-823V炉・アクセサリー。
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