中古 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-812V拡散炉は、酸化および急速な熱アニーリング用途向けに設計されています。直径8インチの水晶チューブにより、優れた均一性とタイトなプロセス制御を提供します。炉は酸化物および窒化物の両方のフィルムを処理できます。1250°Cまでの高温性能と+/-0。1°Cの再現性精度により、半導体デバイス製造などの要求の厳しいプロセスにおいて信頼性の高い一貫した結果が得られます。HITACHI DD-812Vは、独自のゾーン制御装置を備えており、プロセス最適化のための精密な加熱プロファイルを実現しています。また、アラーム、サーマルカウンター、プロセス制御ロジックを通じて包括的な監視を提供しています。KOKUSAI DD 812Vには、ターボポンプ、バッキングポンプ、石英ベルジャー、チルプレート、フットペダルコントローラーなどの複数のアクセサリーが装備されています。ターボポンプは酸化プロセスの間にガス分子の有効な取り外しを可能にします、裏付けポンプは空気取入口を防ぎます。クォーツベルジャーは、プロセス環境を維持するために使用され、チルプレートは熱衝撃のリスクを低減します。最後に、フットペダルは追加の制御を提供し、熱設定を正確に調整し、炉を始動/停止することができます。DD 812Vは、過熱保護やサーマルインターロックシステムなど、包括的な安全機能を提供します。これにより、プロセスが安全で安定していることが保証され、長時間のプロセスでも信頼性の高い動作が可能になります。このユニットは、最大10の動作メニューを保存することもでき、最大3つの温度プロファイルを記録することができます。HITACHI DD 812V拡散炉は、酸化物および窒化物フィルムの優れたプロセス制御と再現性を備えた、強力で信頼性の高い機械です。その使いやすいコントロールと機能、高度な安全機能と組み合わせることで、さまざまな拡散およびアニーリングプロセスに最適です。