中古 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9239651 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-812V
ID: 9239651
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2011
Vertical diffusion furnace, 6" 2011 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-812Vは、半導体などで使用される拡散炉を精密に制御するために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。それは容易で、正確な操作を促進し、最低のダウンタイムの最高の生産性そして信頼性を保障します。炉は有能で多目的な設計を備えており、バッチまたは連続モードで加熱することができます。自動化された温度制御システムには、高精度の温度センサが搭載されており、正確で安定した温度が得られます。内蔵の電源を使用することで、温度を敏感な温度制御で正確に調整でき、プロセスの再現性を向上させることでコストを削減できます。炉自体とは別に、ガスインジェクタ、圧力トランスデューサ、ファン、その他の周辺機器など、さまざまな部品が含まれています。ガスインジェクタは、ベンチュリの喉からなる炉室にガスを効率的に分配し、水素軸受けガスを浄化するためにも使用できます。圧力トランスデューサは、ガス圧力を測定し、処理中のガス供給エラーを検出および修正するための手段として使用することができます。その他のアクセサリーには、プロセスホッパー、マッフル、サセプター、ワークステーションキャリッジ、チャンバーアセンブリ、およびプロセス制御システムがあります。また、粒子の汚染を低減し、室温の均一性を最適化し、より優れたプロセス環境を実現するように設計された日立DD-812Vです。これは、超高密度ウェーハの製造と加工において特に重要です。また、包括的な遠隔監視および診断ユニットを備えており、機器の最適なパフォーマンスを継続的に監視できます。HITACHIのKOKUSAI DD 812V機は、ダウンタイムを最小限に抑え、精密な制御を可能にする高度で信頼性の高い拡散炉です。調整可能な変数、柔軟な部品、プロセス再現性の向上を幅広く提供し、半導体やその他のプロセス産業に最適な結果を提供します。
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