中古 HITACHI / KOKUSAI DD-812V #293796080 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-812Vは、高精度・高温加工用途向けに設計された汎用性の高い拡散炉です。このマシンは、最適なプロセス効率と均一性を確保するための機能の広い範囲を備えています。拡散炉に大きい処理部屋があり、1200°Cまでの温度で作動します。チャンバーは、軸押しベル瓶で設計されており、均一なガス流量と温度分布を確保するためのガス流量制御が装備されています。HITACHI DD-812Vは、ターボ分子ポンピングシステムを備えた高圧チャンバーを備え、真空レベルを1 × 10-3Paまで下げることができます。この炉には、制御ボードにプログラムを転送したり、さまざまなプロセスのさまざまなレシピにアクセスするために使用できる自動コンピュータ化プロセス制御システムが装備されています。コントローラは、各ゾーンのプロセスパラメータと温度を監視し、プロセス全体の一貫性を確保します。KOKUSAI DD 812Vには、温度を自動調整して所望の均一性を実現するオートチューニング機能もあります。拡散炉は、効率的で均一な処理を保証するためのアクセサリーの範囲を持っています。これらには、高圧石英ライナー、グラファイトサセプター、石英のるつぼ、アルミナボートが含まれます。石英ライナーは、高温または圧力による石英管の損傷や破損から保護するのに役立ちますが、グラファイトサセプターは拡散室全体に均等に熱を分配するように設計されています。水晶のるつぼとアルミナボートは、拡散プロセス中に基板を保持するために使用することができます。DD 812Vには、さまざまな安全機能が含まれています。エアロックは、爆発的な大気がチャンバーに入るのを防ぐための追加の安全機能として機能します。また、火炎検出システム、追加の保護のためのセラミック繊維断熱材、および安全な作業環境を維持するための油冷側壁を備えています。この拡散炉は、半導体の拡散、チタンの拡散、ダイアタッチ操作など、さまざまな用途に最適です。この機械の多様性および特徴はそれに精密、高温処理を要求する適用のための大きい選択をします。使いやすく、一貫性のある結果が得られます。