中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9250087 を販売中

HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H
ID: 9250087
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1991
Vertical furnaces, 6" 1991 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-802V-H拡散炉は、製造および半導体業界で使用される先進的な多機能炉システムです。この工業用グレードのシングルゾーン単段拡散炉は、平面半導体デバイスの熱処理、冶金箔のアニール、電子部品などの様々な機能が可能です。日立DD-802V-Hは、産業炉として最新の技術進歩を活かし、プロセスの自動化と効率化に貢献しています。炉自体は、ハウジング、加熱素子、拡散チャンバーからなるシングルゾーンの単段炉です。それは発熱体のための作り付けの、35KW電源によって動力を与えられます。発熱体は、1150°Cまでの高温で動作可能な高温耐性金属合金から構成されています。炉の部屋の内部は高温範囲の熱保持そして操作のために優秀である私達のTaNco/TaKHnアルミナセラミック材料と並べられます。炉の部屋の暖房は0から1150°C。の範囲の温度を調整できるPIDのコントローラーによって制御されます。単一のホッパーを使用して、加熱プロセス中に粉末または粒状材料を保持し、分配します。また、ステンレススチール製のクールダウン機構と排気機構を備えた国際DD-802V-Hは、効率を最大限に高めます。安全のために、DD-802V-Hは、デュアルレベルのロックアウトシステムや自動シャットオフシステムなど、いくつかの革新的な安全機能を備えています。この炉は、電磁的に作動する非常遮断ボタンとサーマルヒューズを備えており、安全上の問題が発生する可能性があります。また、アニーリングトレイ、可変搬送システム、拡散工程の高速化に役立つアライメントジグなど、日立・国際DD-802V-Hにも多数のアクセサリーを取り揃えています。アクセサリーには、出力を最適化するためのいくつかの機能もあります。これらには、アニーリングトレイとヒーター素子の間の空気ギャップを減らすように設計された特別な設計が含まれており、効率が向上し、放熱が最小限に抑えられます。最後に、日立DD-802V-Hは、最大の寿命と最適な性能を保証する堅牢なデザインを備えています。ステンレス、モリブデン、アルミナセラミック複合材料などの耐久性のある材料で構成され、長期的な機能性がテストされています。さらに、設計にはリアルタイム監視とフィードバック用の内部熱電対が含まれています。KOKUSAI DD-802V-Hは全体的に、高速で高性能な結果を提供するように設計されている強力で信頼性の高い工業用グレードの拡散炉です。高度な安全機能と高級構造により、この炉は長期的な高温動作を必要とするあらゆる環境に最適です。
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