中古 HITACHI / KOKUSAI DD-802V-H #9237189 を販売中

HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hは、最先端の拡散炉とアクセサリーを取り扱っています。HITACHI DD-802V-Hは、2200°Cまでの拡散プロセスに適した高温耐性材料から構成されています。これにより、エネルギー消費を高速かつ低減し、メンテナンスコストを削減できます。炉は、制御された温度の均一性と低均一誤差のための絶縁タングステンフィラメントを持っているだけでなく、正確な温度測定のための熱電対の2組の拡散モジュール。KOKUSAI DD-802V-Hは、ウェーハ全体の高品質な拡散を実現する3ゾーン温度制御を備えています。加熱されたゾーンは、熱応力による歪みを軽減するのにも役立ちます。DD-802V-Hは高度のpyrometric安全および反酸化の特徴が装備されています、長い操業および高められた効率を可能にします。パイロメータ装置は、4つの熱電対、4つの独立した過熱センサー、および1650°Cまでの温度読み出しを備えた2つのピロメーターヘッドで構成されています。プロセスガスは、温度均一性と均一なドーピング濃度を向上させるために炉の全体に循環されます。また、拡散工程においてコンベアの向きやガスの流れを調整することでウェーハを酸化ダメージから保護する抗酸化システムを採用しています。HITACHI/KOKUSAI DD-802V-Hには、ガス漏れやクロス汚染を最小限に抑える特許取得済みの半閉鎖均一ガスユニットも付属しています。このマシンは手動制御ツールの必要性を排除し、操作ミスが少なく効率が向上します。また、日立DD-802V-Hはプロセスログを収集することができ、製造工程の温度や流量を追跡することができます。KOKUSAI DD-802V-Hは、最先端の拡散炉であり、ガス漏れを最小限に抑え、温度の均一性と制御性を高めた高度な安全性と抗酸化機能により、効率の向上とコスト削減を実現しています。このモデルは、最も要求の厳しい製品のいくつかを最高品質に製造しようとしているユーザーに強力で信頼性の高いソリューションを提供します。